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晶圆

76 2016年08月29日  星期一  

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晶圆

77 2016年08月24日  星期三  

蚀刻时间/缺陷率呈正函数关系 SiC晶圆表面处理时间要抓紧

新电子

碳化矽(SiC)在大功率、高温、高频等极端条件应用领域具有很好的前景。但尽管商用4H-SiC单晶圆片的结晶完整性*近几年显着改进,这些晶圆的缺陷密度依然居高不下。经研究证实,晶圆衬底的表面处理时间越长,则表面缺陷率也会跟着增加。 碳化矽(SiC)兼有宽能带隙、高电击穿场强、高热导率、高载流子饱和速率等特性,在大功率、高温、高频等极端条件应用领域具有很好的前景。尽管商用4H–SiC单晶圆片的结晶完整性*近几年显着改进,但这些晶圆的缺陷密度依然居高不下。 经研究证实,晶圆衬底的表面处理时间越长,则表面缺陷率也会跟着增加。表面缺陷严重影响SiC元件品质与矽元件相比,碳化矽的能带隙更宽,本征载流子浓度更低,且在更高的温度条件下仍能保持半导体特性,因此,采用碳化矽材料制成的元件,能在比矽元件更高的工作温度运作。碳化矽的高电击穿场强和高热导率,结合高工作温度,让碳化矽元件取得极高的功率密度和能效。 如今,碳化矽晶圆品质和元件制造制程显着改进,各大半导体厂商纷纷展示了高压碳化矽解决方案,其性能远超过矽萧特基势垒二极体(SBD)和场效应电晶体(FET),其中包括阻断电压接近19kV的PiN整流管;击穿

厦门加强与台湾集成电路产业融合发展 打造千亿产业链

新华社

厦门市近日制定了集成电路产业发展规划纲要,拟发挥毗邻台湾的区位优势,加强与台湾集成电路产业的融合发展,形成区域性的集成电路产业集聚地,打造集成电路千亿产业链。集成电路产业被称为信息技术产业的“粮食”。在促进产业转型升级的大背景下,厦门选择把集成电路产业作为新的支柱产业来培育,加速孕育经济发展新动能。厦门火炬高新区是该市集成电路产业的主要承接地。高新区管委会副主任谢松介绍说,目前厦门正加快建设46平方公里高新技术产业基地,并设立500亿元规模的产业发展基金,助力集成电路产业发展。台湾集成电路产业相当发达,其晶圆代工、封装测试和设计业在全球范围内均名列前茅。因此厦门要发展集成电路产业,应当向台湾学习,走融合发展道路。《厦门市集成电路产业发展规划纲要》提出,要深化与台湾集成电路产业的合作,吸引台湾**集成电**才到厦门发展。鼓励台企入驻厦门建立设计中心、制造工厂、封测基地等,在土地租赁、配套服务等方面享有更为优惠的扶持政策。对来厦门发展的具有一定技术实力和国际影响力的台湾集成电路企业进行重点扶持。目前,厦门集成电路产业已聚集各类企业60多家,形成了相对完整的产业链。已布局的重大项目包括:与台

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晶圆

78 2016年08月21日  星期日  

日本确立高效生产单晶硅的新方法

技术在线

日本科学技术振兴机构(JST)2016年8月9日宣布,开发出了使用生产效率高的铸造生长炉来制造单晶硅的新方法,并且,使用基于该方法制造的单晶硅锭的太阳能电池的转换效率达到了19.14%。通过采用使用铸造生长炉制造的单晶硅,实现了与利用直拉单晶制造法(CZ法)制造的单晶太阳能电池为同等水平的高效率和高成品率。 太阳能电池用硅晶圆方面,使用铸造生长炉制造的多晶硅与使用CZ生长炉制造的单晶硅相比,生产效率高且价格便宜,因此太阳能电池市场有60%被多晶硅占据。但多晶硅存在两方面的问题,一是形成优良的多晶结构时,结晶品质会变差,因此转换效率比单晶硅低1~1.5%;二是存在残留变形,因此结晶品质的不均匀性较大,成品率低。此次开发的非接触坩埚法(NOC法)使用用于制造多晶硅锭的铸造生长炉,并在熔液内**性地设置了低温区域,可在不接触坩埚壁的情况下使单晶生长(用来形成低温区域的**经验并未公开)。作为生长炉内容物的石墨夹具全部在真空中长时间高温空烧,去除了杂质。另外还通过极力减慢单晶在生长中的上升速度和旋转速度,降低了晶体位错及氧浓度,减少了结晶缺陷。此次利用由上述方法获得的p型单晶硅锭,从全部区域均

半导体产业的突变(二) 中国半导体行业的特征

FX168财经网

上回我们简单地回顾了中国半导体产业的发展历史,在继续分析中国半导体产业特点之前,我们必须先了解一下半导体生产工艺的简单流程,虽然对于非半导体行业的读者来说应该是非常枯燥的,但对于看清半导体行业的整个格局是十分重要的。还有一点也是必须声明一下,笔者是学经济学的,专业也是宏观经济,对半导体应该可以用一窍不通来形容,在制造工艺方面比我了解很多的读者大有人在,写这些技术的初衷只在对行业进行了解,如有不足或错误之处敬请谅解。 半导体的生产工艺笼统地可以分成:芯片设计、前道工序的晶圆加工和后道工序的封装测试三个工序。芯片设计是根据终端产品的需求,从系统、模块、门电路等各个层级进行选择并组合,确定器件结构、工艺方案等,实现相关的功能和性能要求,*终输出电路设计的版图,提供到生产企业进行加工生产;晶圆加工又称为前道工序,是根据设计给出的电路版图,通过炉管、湿刻、淀积、光刻、干刻、注入、退火等不同工艺流程在半导体晶圆基板上上形成元器件和互联线,*终输出整片已经完成功能及性能实现的晶圆片;封装测试又称为后道工序,是对加工企业的晶圆片根据客户要求进行封装加工成独立的单个芯片,并对电气功能进行测试确认。在半导

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晶圆

79 2016年08月18日  星期四  

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晶圆

80 2016年07月29日  星期五  

产业链协同进步是集成电路发展的关键

中国电子报

集成电路产业链漫长,做强集成电路必须打造完善而强大的产业链,把产业生态建设起来。那么,中国集成电路产业链发展状况如何?如何进一步完善呢?逐渐形成较为完整的产业链中科院微电子所所长叶甜春在日前福建晋江举办的“国际集成电路产业发展高峰论坛”上指出,信息时代芯片的重要性毋庸置疑,就像工业时代的钢铁一样,是一个国家发展的基础。未来30年,如果中国不解决芯片的自主化问题,就会失去发展壮大的一个重要依托。对于集成电路产业,我国非常重视。在2006年制订的“国家中长期科技规划”中,16个重大项目3个与集成电路相关。而经过多年的科技攻关,在“重大专项”等的支持下,我国集成电路从设计、制造,到封测、装备、材料产业链各环节,均得到极大发展。我国集成电路的系统能力与国际水平之间的差距,正在大幅缩小,某些产品已经达到国际**的水平,制造工艺技术的进展也非常快。从装备领域来看,经过多年攻关,部分晶圆设备开始批量进入市场,封测设备可以整线提供。国内装备厂在早期布局的几十种装备中,现在有16种装备通过用户考核,开始进入批量销售。预计到2018年,将有40多种装备可以通过生产一线用户的考核,进入采购。国产装备具有成本

半导体材料替代空间巨大

大众证券报

半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力电子器件、光电子器件的重要材料。国信证券(16.360, 0.03, 0.18%)认为,全球半导体产业向中国转移,国内半导体材料仍旧不能满足需求,存在巨大替代空间。 存在千亿替代空间半导体材料按照工艺的不同可以分为晶圆制造材料和封装材料。其中,近年来,半导体材料市场的主要增长来源于半导体封装材料的迅速成长。而硅片是晶圆加工过程中的主要材料,但**大口径硅片目前国内还完全依赖进口。同时,国产硅片远远不能满足本土市场需求,存在巨大替代空间。另一方面,中国封装材料仍然具有增长潜力。亚太地区已经成为全球封装材料主要增长点,且国内封装材料市场大部分为外商占有,存在巨大的替代空间。此外,先进封装已经成为行业发展趋势,国内封装测试厂商已经在部分先进封装上取得突破,预计先进封装将成为推动国内相关先进封装材料下一波增长的重要动力。政策力度进一步加大我国半导体材料业已经具备一定发展基础,多晶硅、单晶硅、硅锭等产能初具规模。产业环境逐渐完善,拥有产业链从上至下的设计、制造、封装、测试一系列企业。产业链上下能够协同发展,互利共赢,缩短上游材料企业认证周期,为材料企业提供更

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晶圆

81 2016年07月28日  星期四  

台积电带头扩产 两岸晶圆厂群起跟风

DIGITIMES

虽然台积电在2016年第3季法说会中,仅象征性的调高资本支出5%,由百亿美元预算微调至105亿美元的*高目标,有意维持百亿美元规模资本支出计划约3~5年的积极研发及扩产说法,显示对后续全球晶圆代工市场需求及产业景气仍持正面乐观的态度。 这也让两岸晶圆制造及代工业者在各自揣摩上意后,掀起一波新的跟风,包括联电、世界先进,及大陆新兴晶圆厂陆续开始添购机台设备,启动新的扩产计划,希望能满足国内、外芯片供应商在技术、产能各方面的全方位需求内容。台系IC设计业者直言,虽然可以陪着台积电不断往前冲刺先进制程技术的国内、外供应商已越来越少,甚至两只手就可以数得完,但这些全球芯片市场寡头市占率其实也越来越高,一举一动,都可能会左右全球半导体产业链的版图移动。在台积电必需绑住这些喊水可解冻的芯片供应商,甚至提前一步完善服务内容下,台积电接下来一路往7/10纳米制程世代技术冲刺的战略,其实已显而易见,而这也是台积电未来几年的资本支出计划,无论终端产业景气好坏,也没有太多降下来空间的主因。相较于台积电全力往7/10纳米先进制程技术布局,两岸其他芯片制造业者,因为短期已没有多少人有兴趣恣意重启军备竞赛,乱拔台

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