存储器大厂SK海力士(SK Hynix)在晶圆制造设备上加装可**有毒气体与粉尘的固定式腔体排气系统(Fixed Chamber Exhaust System；FCE)，不但可降低人员进行设备维护时的工安危害，同时也缩短设备清洁的作业时间。
据ET News报导，业界表示SK海力士从2015年起，开始在晶圆制造设备上加装固定式腔体排气系统，总共已完成超过300台安装。实际测试效果良好，几乎达到零废气排放也无凝结粉尘，可让设备清洁的时间减至*少，未来计划在所有制程中导入这项系统。
腔体(Chamber)是半导体设备上用于进行晶圆加工的空间，晶圆投入后便成为真空状态，利用各种特殊气体进行镀膜或蚀刻。由于晶圆输送过程为全自动化，无须投入人工作业。 但时间一久，腔体内会累积有毒气体与粉尘，这部分就得交由人工清理，以确保机器能正常运作。通常是在机台腔体上方设置移动式排气系统，先将粉尘吸出后，才由穿戴防毒面具等防护设备的作业员进行清洁保养。
SK海力士*近导入的排气系统为固定式，在腔体下方装设空气泵浦，形成能在作业中即时抽出废气与粉尘的结构。测试结果显示，该系统*多可减少96%的气体排放。 SK海力士在制程**活动上表示，固定式腔体排气系统比移动式系统的耗电量低，且能有效减少有毒气体排放，减少设备清洁时间。借由导入该系统，将可减少工作场所的工安危害，提高设备产能。
据了解，固定式腔体排气系统的供应商是韩国半导体设备业者Excelsior，其拥有该设备应用原理的全球**。但Excelsior以客户资料保密为由，不愿对此正面回应。
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