SiTime推出*轻巧、*稳定、内建自动校准的32 kHz Super-TCXO

消费性电子也需高精度震荡器

时脉产生器或是振荡器对于系统设计一直是不可或缺的角色，以让整体系统运作可以顺畅无虞。在过去，这类元件市场大多是被以石英架构类型业者所把持，其中以日系业者EPSON居于龙头地位。不过，在过去几年，以MEMS（微机电系统）架构的业者，也开始窜起，其业者则以SiTime为代表。其主要目标，就是取代石英业者，改写过去石英架构长年以来的龙头地位。 SiTime行销执行副总裁Piyush Sevalia约莫在两、三年前就曾来过台湾推广MEMS架构震荡器的SiTime行销执行副总裁Piyush Sevalia也于日前再度来到台湾，向台湾媒体分享SiTime新一代产品线与市场策略。Piyush Sevalia表示，由于时脉元件能被应用的市场相当广泛，所以全球时脉元件市场有60亿美元的规模，其中以MEMS架构为主的时脉元件的年复合成长率更高达65%。就时脉元件市场而言，约略可以区分成频率控制、矽时脉与系统等三大类别，尽管SiTime自成立以来已拥有了不错的成绩，再者，过去与SiTime的竞争对手如IDT或是Silicon Lab等都已经退出市场，仅剩SiTime。截至目前为止，SiTime已经有四亿颗元

华微电子与北京微电子技术研究所签订战略合作协议

证券时报网（www.stcn.com）03月14日讯 3月14日晚间，华微电子（600360）发布公告称，2016年3月11日，公司与北京微电子技术研究所在吉林省吉林市签订了《战略合作意向协议书》。据了解，为促进军民融合，进一步提升我国在**领域功率半导体器件、集成电路、MEMS器件等产品的技术水平，华微电子与北京微电子技术研究所自愿结成技术合作伙伴。双方本着平等互利、优势互补的原则，在功率半导体器件、集成电路、MEMS 器件等产品的开发应用方面进行合作。在**领域开发军方订单和军方新产品研发任务所涉及的产品型号，双方本着优势互补的原则，分别承担芯片设计、生产制造、封装、测试、销售的任务，并开展业务合作及相应的资源共享、进行必要的技术培训等内容。对有一定批量需求的工业产品，双方本着优势互补的原则，分别承担芯片设计、生产制造、封装、测试、销售的任务，并开展业务合作及相应的资源共享、进行必要的技术培训等内容。华微电子方面表示，本意向协议的签署，符合公司的战略发展需要，双方将作为重要的战略合作伙伴按照相关法律、法规的要求开展业务合作；双方本着优势互补的原则，在功率半导体器件、集成电路、MEM

湖南砸下10亿元，建设**首条非半导体基底MEMS传感器生产线

随着科技的发展，智能机器人逐步进入了人们的生活。它能帮助机器人感知外面的世界，正如眼睛、鼻子、耳朵和皮肤在人体中的作用一样，传感器在硬件中充当一个从外界接收信息的角色，它能给机器人带来触觉、听觉……作为物联网的基础，传感器市场近年来发展迅速，迎来大发展的风口。小到手机、手表、汽车，大到高铁、飞机、舰船，传感器已经渗透到人们生产生活之中。 目前，我国传感器市场每年的需求量有数十亿支，价值几千亿元，面对这样一个庞大市场，国内外厂商正在加紧研发，攻城略地。为抢占智能制造产业发展高地，长沙正在积极行动。近日，湖南启泰信息技术有限公司传感物联网产业园，在湖南浏阳制造产业基地开工建设，这一项目总投资10亿元，将建设国内首条工厂化非半导体基底材料的MEMS（微机电系统）传感器生产线，**期工程预计明年3月建成，可年产200万支**压力传感器，年产值达50亿元。这是中国传感器产业一个全新的开始！  启航 湖南浏阳兴建传感物联网产业园 位于湖南浏阳永安的一块黄土地上，施工人员已经进驻，这里将建设全新的传感物联网产业园，项目总建筑面积2.3万平方米，包括芯片主体车间、传感器封装车间和办公科研综合楼。一年后

南茂谈紫光合作案：将100%遵守政府法令

封测厂南茂于证交所举行法说会，董事长郑世杰表示，南茂与大陆清华紫光的合作案，将会100%遵守政府法令，等待主管机关的核准，2016年对于市场景气抱持审慎乐观态度，估计会有低个位数的营收年成长率。 郑世杰表示，不管与紫光合作案如何，南茂也还有新台币120亿元联贷案撑腰，营运没有问题。第1季估计营收持平或小减。南茂财务长陈寿康则表示，南茂2015年营收约198.7亿元，年减9.7%，主因系2015年存储器封测需求较淡，小尺寸LCD驱动IC需求也不如预期。尽管2015年第4季大尺寸面板驱动IC需求不错，但产能利用率仍偏低，据南茂公布之资料数据显示，2014年产能利用率约78.9%，但2015年仅66.9%。南茂2015年初因应4Kx2K电视与高解析度手机面板需求增加不少产能，但4K需求不如预期强劲，导致产能利用率下滑。南茂2016年将投入2亿美元重启上海宏茂微电子，2018年时上海厂可望有近1亿颗驱动IC封测产能，5万片金凸块制造、月产6,200万颗MEMS封测，可望较目前台湾南茂产能增加4成。但2016年上海厂经济规模不足，估计2018年上海厂毛利率可追上与台湾南茂的21.7%水准。郑世杰

利用光降低热噪声，减小MEMS传感器的误差

半导体摆脱库存压力 迎新蓝海

由于全球智慧型手机销售动能趋缓，个人电脑出货量持续出现衰退，2015年半导体生产链面临库存去化压力，也导致晶圆代工厂及封装测试厂营运表现不佳，所幸市场库存已在去年第4季陆续完成调整，而2016年半导体市场将不再有库存过剩问题。业界认为，2016年虽然智慧型手机市场成长仍将趋缓，但包括智慧手表等穿戴装置需求将有明显成长，物联网市场也会有许多新应用陆续上市，至于车载电子及先进驾驶辅助系统(ADAS)将会见到强劲成长。由于物联网相关应用的销售量将逐步加速，微控制器(MCU)、感测器、电源管理晶片、网路通讯晶片等需求也将增温。由于大量的物联**殊应用晶片(ASIC)不需要采用先进制程，而是采用8寸厂成熟制程生产，世界先进接单将重回满载水准，至于拥有庞大系统级封装(SiP)产能的日月光、*大感测器测试厂京元电等将同步受惠。世界先进 受惠代工需求强世界先进(5347)预估今年第1季营收介于58.5～61.5亿元之间，营运已逐步走出谷底，也代表8寸晶圆代工的需求正在逐步上升。随着库存去化结束及客户开始追加投片量，8寸晶圆代工厂的产能利用率明显回升，营收将显现在今年第1季。世界先进受惠于LCD驱动IC

物联网的关键！你真的了解传感器？

“正如眼睛、鼻子、耳朵和皮肤在人体中的作用一样，它在硬件中充当一个从外界接受信息的角色”。这句话描述的正是传感器。自从发明以来，它就一直被应用在工控和其他领域，作为一个重要的设备前端，传感器的功能几近是不可代替的。在现在步入了物联网时代，传感器变得尤其重要。据美国市场研究机构透明市场研究（Transparency Market Research）公司*新发布的报告显示，到2020年，全球可穿戴传感器市场将以45.2%的复合年均增长率继续成长。Yole Developpement 也预测，作为传感器重要组成部分的 MEMS 传感器产品需求在近年增势迅猛，从2014年起平均以12%-13%的增长率增长，到2019 年，产业总值预计将达到 240 亿美元。面对这这么一个庞大市场，很多厂商正在加紧研发，攻城略地。什么是传感器在对传感器进行详细分析之前，我们需要了解一下什么是传感器，并且了解一下这些传感器可以被应用到哪些领域。按照国家标准GB7665-87对传感器下的定义是“能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。也就是说传感器是一种检测装置

迎新蓝海 半导体摆脱库存压力

由于全球智能型手机销售动能趋缓，个人电脑出货量持续出现衰退，2015年半导体生产链面临库存去化压力，也导致晶圆代工厂及封装测试厂营运表现不佳，所幸市场库存已在去年第4季陆续完成调整，而2016年半导体市场将不再有库存过剩问题。 业界认为，2016年虽然智能型手机市场成长仍将趋缓，但包括智慧手表等穿戴装置需求将有明显成长，物联网市场也会有许多新应用陆续上市，至于车载电子及先进驾驶辅助系统（ADAS）将会见到强劲成长。 由于物联网相关应用的销售量将逐步加速，微控制器（MCU）、感测器、电源管理芯片、网路通讯芯片等需求也将增温。由于大量的物联**殊应用芯片（ASIC）不需要采用先进制程，而是采用8吋厂成熟制程生产，世界先进接单将重回满载水准，至于拥有庞大系统级封装（SiP）产能的日月光、*大感测器测试厂京元电等将同步受惠。 世界先进 受惠代工需求强 世界先进预估今年第1季营收介于58.5～61.5亿元之间，营运已逐步走出谷底，也代表8吋晶圆代工的需求正在逐步上升。 随着库存去化结束及客户开始追加投片量，8吋晶圆代工厂的产能利用率明显回升，营收将显现在今年第1季。世界先进受惠于LCD驱动IC、

Cavendish RF MEMS开关可望取代SOI

作者：罗克林 随着LTE智慧型手机应用需求浮现，射频微机电系统 “该公司现正开发RF MEMS开关，因为这些元件在线性度方面确实优于传统的固态元件。而且，未来的智慧型手机**需要这些元件。?Troadec说：“Qorvo正在寻找一种RF MEMS开关，而且在Cavendish*近一轮的3,500万美元集资中占有高达2,600万美元的投资。这也明显表示业界每家厂商都在寻找好的RF MEMS开关。如果Cavendish能成功，将会是一大成就，而且每一支智慧型手机当然都会导入这项技术。”超越高阶性能之外高阶手机将会是这项技术的早期应用领域，但随着时间的进展，该公司希望*终能向下延伸至中、低阶手机，因为该解决方案在大量生产后，将会为手机制造商克服价格上的挑战，同时还能带来较单独使用SOI半导体时更佳的性能。根据GlobalFoundries表示，就像SOI彻底改变RF前端一样，Cavendish的MEMS开关和天线调谐器将在2020年展现同样的成就，Mobile Experts估计届时将达到160亿美元的市场规模“SOI元件将永远有其用武之地。”但在RF前端，Dal Santo强调，“MEMS

医疗电子领域的MEMS传感器应用

苹果新购晶圆厂可望成MEMS研发中心

苹果(Apple)宣布以182万美元从美信半导体(Maxim Integrated)买下位于加州圣荷西的一座8吋晶圆厂。专家分析认为，此举并不会影响与苹果合作的晶圆代工厂生意。 据SemiWiki报导指出，SEMI World Fab Watch Database资料显示，苹果买下的晶圆厂于1987年建立，即使**开工每月也只能生产1万片晶圆，规模相对小且老旧，无法生产苹果所需的应用处理器(AP)。苹果*新AP采16/14纳米FinFET制程，而10纳米制程也正在开发中。8吋晶圆近日才微缩至45纳米制程，无法再进入更小节点制程。而即使苹果*新买下的晶圆厂有办法生产先进应用处理器，其晶圆产量能力过低，无法符合成本效益。而专家分析认为，苹果很可能利用该晶圆厂，开发微机电(MEMS)传感器或显示器。技术上而言，该晶圆厂也可以用来开发类比应用，不过，此情境的���能性较低，因为苹果向来外包所有类比应用生产，因此作为研发功能的可能性较高。另外，苹果也可能将该晶圆厂转型作为资料中心。近年，愈来愈多公司将老旧晶圆厂转型成资料中心。一般而言，晶圆厂拥有极大馈电(power feed)能力以及大型冷气系统，

苹果收购不为进军晶圆业 原厂或成MEMS研发中心

苹果(Apple)宣布以182万美元从美信半导体(Maxim Integrated)买下位于加州圣荷西的一座8寸晶圆厂。专家分析认为，此举并不会影响与苹果合作的晶圆代工厂生意。据SemiWiki报导指出，SEMI World Fab Watch Database资料显示，苹果买下的晶圆厂于1987年建立，即使**开工每月也只能生产1万片晶圆，规模相对小且老旧，无法生产苹果所需的应用处理器(AP)。苹果*新AP采16/14纳米FinFET制程，而10纳米制程也正在开发中。8寸晶圆近日才微缩至45纳米制程，无法再进入更小节点制程。而即使苹果*新买下的晶圆厂有办法生产先进应用处理器，其晶圆产量能力过低，无法符合成本效益。而专家分析认为，苹果很可能利用该晶圆厂，开发微机电(MEMS)传感器或显示器。技术上而言，该晶圆厂也可以用来开发类比应用，不过，此情境的可能性较低，因为苹果向来外包所有类比应用生产，因此作为研发功能的可能性较高。另外，苹果也可能将该晶圆厂转型作为资料中心。近年，愈来愈多公司将老旧晶圆厂转型成资料中心。一般而言，晶圆厂拥有极大馈电(power feed)能力以及大型冷气系统，相

MEMS传感器五年内将利用降价来提高使用率

未来几年MEMS传感器的降价提高使用率，根据市调公司Yole Developpement表示，随着电子产品迈向消费化，将原本以企业运算为导向的半导体产业带到目前为移动设备供应组件的位置，并进一步促成了电子产品以及我们的生活迈向传感化。2014-2020年MEMS市场预测Yole预计，从2015年到2020年之间，这一市场可望实现成长17%的复合年成长率。然而，强劲的价格压力将使这段期间仅达到3%的CAGR。Yole所预期的成长预计将来自于人们生活中的穿戴设备、物联网、医疗电子产品以及将自动驾驶车作为目标的汽车产业等应用迈向“传感化”。未来几年MEMS传感器的降价提高使用率，但是，这一趋势还将伴随价格的降低。例如，库瑞克加速度传感器的生产成本仅0.025美元，Eloy解释说，这是因为动作传感功能已经变得像几年前的温度传感器一样便宜了。

安防论坛现场直击，世强掀起差异化商机

随着平安城市、智慧城市的到来以及公众安防意识的增强，由安防引爆的商机持续发酵。在第三届(深圳)智能家居与高清视频**技术研讨会安防论坛上，世强市场经理张永龙分别从图像控制、传感器、时钟以及电源与通信四个细分应用向与会嘉宾分享了世强安防应用解决方案，并且在安防市场迅速扩充之际分析行业现状及世强在安防行业的布局，梳理产品技术走向，帮助制造商找到各自的产品突破点并加速产品设计实现，*终把握住安防所创造出的商业机会。固化位置补偿算法的图像控制芯片在开场部分，张永龙首先向与会工程师介绍了瑞萨Renesas今年第四季度即将推出带有OIS镜头的马达驱动芯片R2J30516LG。具有响应速度快、高精度位置控制、高稳定性和静音控制功能的这款芯片依旧沿用瑞萨H8S内核，内置霍尔位置传感器，多通道Lens马达驱动可用于图像防抖，支持高速脉宽调制输出用于VCM驱动电路，配备高速12bit SAR ADC且转换时间只需1us。张永龙表示：“R2J30516LG主要应用于摄像头镜头控制，与传统相比，一颗芯片具有三颗芯片的作用：MCU、光圈及焦距控制，在整个系统设计上，更加简单方便，成本也进一步降低。在Q4该款产品

Maxense—当传感器插上云的翅膀

MEMS后端封装有别于IC 相对前端制造较为完善

Murata ZPA系列 MEMS压力传感器登录贸泽电子

元器件交易网讯 12月24，贸泽电子(MouserElectronics)即日起开始分销Murata的ZPA系列MEMS压力传感器。该小型(2.3×2.6mm)微机电系统(MEMS)传感器可提供范围在300至1,100hPa之间、分辨率低至0.016Pa的高精度压力读数。Print_Murata ZPA MEMS Pressure SensorMouser分销的MurataZPA系列MEMS压力传感器采用电容传感技术，可在宽温度范围（-10℃至+65℃；P=800至1,100hPa）内实现±1.0hPa的**传感精度，并能在0.16s的转换时间内实现1.1PaRMS的典型低噪声水平和仅6.3µA的电流消耗。ZPA系列MEMS压力传感器具有SPI和I2C通信接口，专为要求高精度和低电流消耗的应用而设，包括医疗器械、电梯设备、室内导航和气象观测。更多有关MEMS技术的信息，敬请访问http://www.mouser.cn/applications/mems-technology/。更多有关MurataZPA系列MEMS压力传感器的信息，敬请访问http://www.mouser.cn/ne

Mouser备货 Murata微型ZPA系列电容式MEMS压力传感器 高精度、低功耗应用的不二之选

贸泽电子 (Mouser Electronics) 即日起开始分销Murata的ZPA系列 MEMS压力传感器。该小型 (2.3 × 2.6 mm) 微机电系统 (MEMS) 传感器可提供范围在300至 1,100 hPa之间、分辨率低至0.016 Pa的高精度压力读数。Mouser分销的Murata ZPA系列MEMS压力传感器采用电容传感技术，可在宽温度范围(-10℃至+65℃;P=800至1,100hPa)内实现±1.0 hPa的**传感精度，并能在0.16s的转换时间内实现1.1 PaRMS的典型低噪声水平和仅6.3µA 的电流消耗。ZPA系列MEMS压力传感器具有SPI和 I2C通信接口，专为要求高精度和低电流消耗的应用而设，包括医疗器械、电梯设备、室内导航和气象观测。

智能医疗仍面临重重挑战

相关数据显示，目前智能医疗行业仍处于行业发展初期，以县级医院为例，每家县级医院在医疗系统改造上会花费3到4亿元左右，**大约有2000以上的县级城市，有广阔的蓝海市场，规模或超千亿。其中，便携式医疗设备、穿戴式设备是智能医疗重要的组成部分，然而，大部分这类设备所采集的生理数据难以满足医疗标准，数据精度、工作模式、易用度等还有待提高。另外，承担医疗数据储存、处理、计算、分析的大数据后台也需要在数据**、算法优化、模型分析等方面有所突破。 针对穿戴医疗优化产品性能 智能医疗从大范围内的定义来说，有医院的信息化、医疗信息的互联网化、药剂医疗设备的物联网化、远程健康监护乃至远程医疗等。然而，目前的智能医疗处于初级发展阶段，所能实现的功能非常有限，医疗资源的信息化凤毛麟角。虽然大型医疗设施的智能化开展困难，通过佩戴可穿戴设备记录生理数据普及程度却相对较高，同时，目前较低的市场份额也让厂商看到了发展机会。据IMS Reserch的数据报道，可穿戴医疗市场2016年或将超过29亿美元，至少占据所有可穿戴产品销售额的一半。 “智能医疗的核心推动因素在于便携式应用。要解决这些主要的挑战，则���要微型化、低

物联网应用需求爆发 MEMS传感器商机飞跃成长

物联网需求引爆MEMS传感器商机

感测器是建构物联网不可或缺的关键元件；随着各产业领域业者纷纷投入物联网应用开发，已刺激动作、影像、温度、湿度、紫外线、气压及有机气体等感测器需求急遽攀升，相关元件制造商无不积极研发新产品，以抢搭此波商机。物联网即将建构的美好生活令人充满想像。人类将透过一个由全球数亿人所共有共享的巨型智**路基础建设，进行**性的社群交流与资讯分享，并且经由连结实体物件及虚拟分析整合，达到无所不在的侦测、识别、控制及服务。物联网可藉由亿万个遍布于体内、体外与周围环中的智慧感测装置，长期收集记录所有关心的目标讯息，并利用先进分析技术处理这些巨量资料，持续创造出预测性演算法或智动化系统，来达到改善能源使用效率、提供**医疗服务、增加生活舒适便利性、降低**风险、或是提高生产力等目的。在2014年，台湾半导体产业协会(TSIA)的年会中，张忠谋以“NextBigThing”为题发表演说。他表示，下一个BigThing是物联网，而物联网商机将可望于5到10年内萌芽。感测技术IoT基础建设核心项目在无限感测、万物互联的未来世界中，将充满着各式各样的智慧技术，例如无人车辆会自动驾驶、让行车更**；智慧家电提供便利舒

2018年MEMS市场规模可达130亿美元

降低机器维护成本　MEMS加速度计振动监测应用成风

上海：打造具全球影响力半导体产业集聚地

上海市经济和信息化委员会主任 李耀新12月3日，由工业和信息化部主办、中国电子报社承办的2015年**电子信息行业工作座谈会暨**集成电路行业工作会议在北京召开。上海经济和信息化委员会主任李耀新表示，集成电路产业是IT产业核心，是支撑经济社会发展、保障国家**的战略性、基础性和先导性产业。上海始终将集成电路产业作为支柱型产业，形成了****的集成电路产业基础。2014年6月《国家集成电路产业发展推进纲要》正式发布后，上海积极贯彻《推进纲要》，结合中央提出的“建设具有全球影响力的科技**中心”要求，制定了一系列落实举措，加快推动产业发展，力争将上海打造成为全球具有重要影响力的半导体产业集聚地。今年预计销售950亿元今年以来，上海对接国家战略，谋划顶层设计，努力克服宏观经济持续下行的不利因素，聚焦重点领域，着力结构调整，改善政策环境，电子信息产业实现平稳健康发展。2015年1~9月，上海电子信息制造业完成工业总产值4470亿元，与去年基本持平，预计全年完成6000亿元左右。1~10月，上海市集成电路产业继续保持稳步增长的态势。集成电路产业实现销售收入712.78亿元，同比增长13.51%。

敢问MEMS制造之路在何方？中芯国际“指点江山”

2015年10月27日，中国半导体行业协会MEMS分会一届二次会员大会暨年会在苏州国际博览中心举办，中芯国际集成电路制造(上海)有限公司咨询技术总监黄河为大家演讲了题为《MEMS及圆片系统集成代工的机遇与挑战》的演讲。 中芯国际从2008年进入MEMS产业界，发展到今天已经变成国内****的MEMS代工厂，可谓是行业先驱。因此，站在中芯国际的角度，黄河博士和大家探讨了MEMS行业驱动力、、MEMS技术现状和趋势、MEMS和IC集成技术、晶圆级封装和系统级封装解决方案，以及中芯国际的MEMS代工厂情况。*早的MEMS传感器从工业和汽车应用开始，发展到智能手机和可穿戴设备，再到广阔的物联网。一路走来，未来MEMS产业真正的需**什么?黄博士指出，低功耗、低成本、多功能化，都是未来MEMS产业的发展方向。中芯国际技术总监黄河演讲为了适应市场运营机制，在明确未来的市场驱动因素和即将大规模增长的产品方向上，中芯国际正努力实现每月几万圆片的产能。因为中芯国际的MEMS晶圆尺寸为8英寸，没有一个大的市场容量，很难“喂饱”MEMS工厂。所以中芯国际不可能只做特种传感器。黄博士说道“上亿万级的MEMS市

IMT和北京大学微电子学研究院携手加快MEMS技术发展

美国*大的纯MEMS技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前自豪地宣布：公司已与北京大学微电子学研究院签署战略合作伙伴协议。该协议着眼于为两个组织在技术开发和MEMS器件制造等领域内构建合作框架，并以此促进北京大学微电子学研究院的在校本科生和研究生潜心于研究MEMS技术。微机电系统（MEMS）器件用于为当今的电子产品创造对接“真实世界”的各种传感器件。这些传感器件通常可见于我们日常生活中所使用的各种电子产品之中，如智能手机、平板电脑、汽车以及构成“物联网”的其他连网设备。多年以来，IMT和北京大学微电子学研究院均开展了大量涉及MEMS的研究和开发活动，且各自都对该行业的技术进步做出了巨大贡献。作为该协议的一部分，IMT将在MEMS研究和开发这一特定领域为北京大学设立奖学金，尤其关注MEMS制造工艺技术的开发。IMT将每年向三名（个）在MEMS技术领域内从事特定研究的学生个人或团队提供奖学金。其目的在于鼓励北京大学微电子学研究院的学生开展**，并使业界广泛认识到MEMS制造工艺技术给全球通信、人类健康、农业优化和可再生能源等领域做出的贡

IMT和北京大学微电子学研究院携手加快MEMS技术在中美的发展

美国加利福尼亚州圣巴巴拉市，2015年10月28日 ——美国*大的纯MEMS技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前自豪地宣布：公司已与北京大学微电子学研究院签署战略合作伙伴协议。该协议着眼于为两个组织在技术开发和MEMS器件制造等领域内构建合作框架，并以此促进北京大学微电子学研究院的在校本科生和研究生潜心于研究MEMS技术。 微机电系统（MEMS）器件用于为当今的电子产品创造对接“真实世界”的各种传感器件。这些传感器件通常可见于我们日常生活中所使用的各种电子产品之中，如智能手机、平板电脑、汽车以及构成“物联网”的其他连网设备。多年以来，IMT和北京大学微电子学研究院均开展了大量涉及MEMS的研究和开发活动，且各自都对该行业的技术进步做出了巨大贡献。作为该协议的一部分，IMT将在MEMS研究和开发这一特定领域为北京大学设立奖学金，尤其关注MEMS制造工艺技术的开发。IMT将每年向三名（个）在MEMS技术领域内从事特定研究的学生个人或团队提供奖学金。其目的在于鼓励北京大学微电子学研究院的学生开展**，并使业界广泛认识到MEMS制造工艺技

促进IoT传感器发展　MEMS制造商强化技术服务

专业微机电系统(MEMS)制造商IMT(Innovative Micro Technology)宣布与新创公司育成机构Silicon Catalyst签署合作协定，将由IMT提供MEMS相关技术**与制造专业，给Silicon Catalyst协助育成的新创公司中有意开发MEMS感测器的业者，以促进物联网(IoT)的发展。 IMT执行长Craig Ensley表示，MEMS技术能为先进半导体元件提供感测介面，是物联网的核心技术，可改善手机效能、GPS导航精准度，以及智慧型手机电池耗电情形。藉由与Silicon Catalyst合作，双方将可提供MEMS技术、设计和制程专业、原型制作、晶圆生产，以及办公室设施给需要的新创公司。Silicon Catalyst执行长Dan Armbrust提到，随着物联网时代来临，感测器和其他**的MEMS元件将成为新应用的关键。IMT出色的MEMS开发能力是新创公司实现**物联网产品的理想的资源。据悉，IMT在MEMS领域具有广泛的专业技术。15年来，IMT已与数百间公司合作，协助他们完成初期规划、制程整合与批量生产。此外，有超过450件MEMS设计完成

意法展示先进智慧城市及物联网技术

意法半导体(ST)展示先进且具高能效的联网智慧城市技术。该公司以一个透过多个感测器节点连接无线网状网路(Wireless Mesh Network)的智慧城市环境为例，充分表现感测器所扮演的重要角色。这些感测器节点可执行智慧照明系统监控、智慧垃圾处理、智慧振动探测(Smart Vibration Detection)及智慧环境监控等。 该公司透过无线网状感测器网路，让近距离感测器节点侦测无线遥控的汽车模型，并根据汽车所在位置调控路灯亮度；透过加速度计节点侦测建筑物的振动；藉由放置于周围的环境感测器节点测量温度、湿度及压力；无线连接的照明控制板则能够实时监控灯光的耗电量。所有感测器节点的数据将透过网路传至一个显示器，以方便随时查看。这项设计基于该公司的32位元微控制器开发板及各类感测器等产品，例如配合Paradox Engineering 通讯平台建构的无线全网状网路的射频收发器和电源管理晶片。此外，工程师还能够体验该公司*新的嵌入式开发生态系统，使用Nucleo 32位元微控制开发板和X-Nucleo扩展板，以及动作MEMS感测器、环境感测器、MEMS麦克风、马达驱动器、低功耗蓝牙(B

MEMS传感器的未来在哪里？

ST副总卫博涛:致动器跃居MEMS市场新星

致动器有望成为****。根据Semico Research研究预估，未来微机电系统(MEMS)市场规模将从2013年的124亿美元攀升至2018年433亿美元，成长潜力一片乐观，而意法半导体(ST)继动作、声学、环境感测器之后，看好致动器，欲藉其开拓MEMS市场新版图；现阶段MEMS致动器已应用于微型反射镜、相机自动对焦以及3D列印喷墨印头。 意法半导体执行副总裁兼类比、MEMS及感测器事业群总经理卫博涛认为，由于台湾产业供应链完整，有利发展触控感测器，该公司将更加着重在台湾触控感测器市场。意法半导体执行副总裁兼类比、MEMS及感测器事业群总经理卫博涛(Benedetto Vigna)观察，随着物联网逐渐发展，致动器已站在风口上，未来相关需求将愈来愈多。据了解，致动器可将电能转换成机械能输出，以促成小物件移动，而感测器能够吸收物理讯号，并将其改变为电子讯号，因此MEMS感测器/致动器两者具有互补效应，令人机互动更快速与丰富。 卫博涛进一步解释，MEMS致动器需要电流驱动以促成移动，而意法半导体可利用BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)技术，来产出较佳的高电压/大电流解决方案。目

致力感测器多元化目标　ST补强致动器产品

看准致动器(Actuate)与感测器将具备互补效应，**物联(IoT)应用市场的发展，因此，未来意法半导体(STMicroelectronics)将致力于补强致动器产品线，以提供更完整的微机电系统(MEMS)感测器与制动器解决方案。 意法半导体执行副总裁暨类比、MEMS即感测器事业群总经理卫博涛(Benedetto Vigna)表示，从任天堂(Nintendo)Wii到智慧型手机，MEMS市场经历了快速扩张和巨大变化，然而，MEMS的应用潜力尚未完全被开发，也就是说，真正的杀手级应用尚未出现，但肯定的是，MEMS市场的下一波发展方向将会是与致动器的相关应用。随着物联网时代来临，MEMS动作感测器与压力、湿度、紫外线等环境感测器及MEMS麦克风等MEMS的发展可说相当蓬勃，渗透率也已相当高。不过，MEMS字面上即涵盖机械与电讯相互转换，因此应实现MEMS双向操作特性，进一步开发更多应用。而上述感测器属于将物理变化转化为数位讯号的“单向”过程；若要将讯号转为物理变化，则需要仰赖致动器。感测器与致动器一是透过机械推动电讯；一是透过电讯推动机械，两者具互补作用意法半导体早在2000年即推出用于

MEMS制造成本大幅降低　可望加速物联网发展

法国电子资讯技术实验室CEA-Leti开始生产12吋晶圆用加速计(accelerometer)，为微机电(MEMS)产业首例。据Electronics Weekly网站报导，Leti执行长Marie Semeria表示，其8吋MEMS平台已与12吋晶圆制程相容，可望大砍MEMS生产成本，有益物联网(IoT)应用市场扩大发展，也可回应移动装置对于MEMS日益增加的需求。Leti生产MEMS制程已有30年历史，目前MEMS部门有200名员工。近日Leti推出微机电与纳米机电(M&NEMS)技术，整合加速器、陀螺仪(gyroscope)、磁量计(magnetometer)、压力转换器(pressure transducer)、麦克风等感测器在同一颗芯片上面。为了简化制程，所有的感测装置都属压阻式(piezoresitive)感测，不但强度高且体积小，可打造比其他厂商体积小一半的感测器。一般厂商得将加速器、陀螺仪与磁量计分开置放于不同的矽晶圆，然而Leti可将3个加速器、3个陀螺仪、3个磁量计放在一起。M&NEMS制程有97道步骤，且每一道都已导入12吋晶圆制程。12吋晶圆制程比8吋晶圆制程便

分析仪不离传感器 未来以微电子智能化为主

分析仪器是我国科技、经济和社会持续发展的基础，无论在工业过程控制、设施农业、生物医学、环境控制、食品**乃至航空航天、国防工程等领域，均迫切需要各类新型传感器作为信息摄取源的小型化、专用化、简用化、家庭化的新一代分析仪器，实现更灵敏、更准确、更快速、更可靠地实时检测，以迅速改变我国分析仪器的落后状况。传感器作为现代科技的前沿技术，传感器产业也是国内外公认的具有发展前途的高技术产业，它以其技术含量高、经济效益好、渗透能力强、市场前景广等特点为世人瞩目。几十年来，以微电子技术为基础，促进了传感器技术的发展。多学科、多种高新技术的交叉融合，推动了新一代传感器的诞生与发展。例如：我国重点开发的MEMS、MOMES、智能传感器、生物化学传感器等以及今后将大力开发的网络化传感器、纳米传感器均是多学科、多种学科技术交叉融合的新一代传感器。微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述EJX变送器)。微电子机械加工技术，包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(X光深层光刻、微电铸和微复制技术)、激光微加工技术和微型封装技术等。ME

*新版Silicon 60：8家大陆IC新星闪耀；

意法半导体MEMS干货分享 海量解决方案将亮相中关村智能智造**中心

印刷掀半导体后工序**，多品种少量变量生产成为可能

国内集成电路产业面临**机遇 有望弯道超车

虽然从全球范围看，集成电路产业增速已逐步放缓，但在中国却仍是一个空间巨大的高新技术产业，且其投资热度不会降温，这是本月10日在兖州举行的2015中国集成电路产业发展研讨会暨第十八届中国集成电路制造年会上，业内人士的一致观点。有专家还乐观指出，基于独特的本土市场和当前所面临的**机遇，中国的集成电路产业完全有可能做到弯道超车。 一批公司崭露头角夯实基础 在国家的大力扶持下，中微半导体、北京科华微、科大鼎新、上海微电子等一批装备、材料公司开始崭露头角，夯实集成电路产业的发展基础。而作为发展重点的300毫米大硅片项目，也有望弥补我国集成电路产业链上缺失的一环。 “从整个电子产业链看，我国集成电路产业在设计、封测环节已做得不错，整机环节则做到了全****；而现在，设备制造方面也有了很大进步，只是集成电路等级的硅片产业基础还很薄弱，12吋芯片级硅棒和衬底制造是目前国内半导体价值链上缺失的一环。”上海新晟半导体科技有限公司总经理张汝京表示。 张汝京透露，新晟半导体的300毫米大硅片项目现在的计划是到2017年四季度前建成月产能15万片的生产线，目标是希望成为中国集成电路材料行业旗舰，并在十年内跻身

我国MEMS惯性传感器集成电路取得突破性发展

日前，南京理工大学的一篇关于物理传感器方面的论文在微电子学与集成电路领域**国际期刊 IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS (JSSC) 刊出。该研究成果表示我国在MEMS惯性传感器专用集成电路设计方面取得突破性发展。现代生活中，智能手机、汽车导航、游戏机、数码相机、音乐播放器、无线鼠标、硬盘保护器、智能玩具、计步器、防盗系统等等都融入了MEMS惯性传感器，虽然它们通常只有几毫米甚至更小，却是解决导航、定位、定向和运动姿态测量的重要部件。2015年9月，微电子学与集成电路领域**国际期刊 IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS (JSSC) 刊出了南京理工大学MEMS团队的研究论文《A Sub-g Bias-Instability MEMS Oscillating Accelerometer With an Ultra-Low-Noise Read-Out Circuit in CMOS》，这是国内**在该期刊上发表物理传感器方面的文章。研究成果发表于JSSC，表明南理工在MEMS惯性传感器专用集成电路设计方面取得了

TI公布业界首款完全可编程MEMS芯片组 支持嵌入式超便携近红外分析

大陆传感器市场快速成长　本地供应商积极布局

让人们在转动手机时，手机显示页面也跟着翻转的传感器，在智能型手机以及平板电脑领域的使用越来越广泛，而大陆的传感器市场规模成长速度一直超过20%。光是2014年下半，就有多家A股公司计划进军传感器领域，竞争可谓非常激烈。根据“大陆传感器产业发展白皮书2014”显示，近年来，全球传感器市场一直保持快速成长，2012年全球传感器市场规模已达952亿美元，2013年约为1,055亿美元。每日经济新闻报导，除了消费电子外，传感器还广泛应用于汽车、医疗电子等领域，尤其是智能型手机以及平板电脑。目前市面上多数智能型手机都安装了各种MEMS(微机电系统)传感器，如加速度计、陀螺仪等。分析师认为，智能产品的功能越来越多，需要更多的传感器，例如即将问世的Apple Watch，传感器更是不可或缺。目前智能型手机中采用多达12颗MEMS芯片，预计未来每支智能型手机采用的MEMS将达到20颗。大陆的传感器产商众多，主要集中在长三角地区，特别是江苏等地。例如欧菲光宣布定增募资40亿元，其中一个募投项目就是传感器及应用集成系统研发中心专案。此外，盾安环境宣布与MEMS传感器巨头公司MicroluxTechnolo

全球MEMS厂商排名：悍将博世登顶，巨头苦苦挣扎

法国Yole Développement发布了*新的全球前三十名MEMS厂商排名，如图1所示。该排名显示了未来“MEMS巨人”：博世。由于iPhone 6采用了博世的传感器，2014年其MEMS营收增长了20%，超过12亿美元。进一步拉大了与**名ST的差距，目前双方相差4亿美元。图1 2014年全球前三十名MEMS厂商排名2014年排名前五位厂商与2013年相同，但是博世的“分量”越来越大，约占前五位厂商合计营收(38亿美元)的三分之一。而这五家约占全球MEMS市场规模的三分之一。鉴于MEMS拥有良好的市场前景，去年全球排名前三十名的厂商大部分都实现增长。2014年其它值得关注的信息：德州仪器的销售出现小幅增长，主要受益于其DLP投影业务。RF公司也有令人印象深刻的增长，如Avago增长23%，接近4亿美元;Qorvo(原为Triquint)增长141%，达到3.5亿美元。同时，惯性传感器市场持续增长。InvenSense受益于此，2014年营收继续上升，增长了32%，达到3.29亿美元。加速度计、陀螺仪和磁力计不再是促使MEMS公司增长的“三驾马车”，压力传感器市场也取得不错的进展

Benedetto Vigna荣膺IEEE Frederik Philips Award

ams提供可探测VOC的气体传感器

艾迈斯(ams)今日宣布为Withings提供可探测挥发性有机物(VOC)的AS-MLV-P2 MEMS气体传感器组件。该产品将用于Withings**的Home监测系统。AS-MLV-P2传感器具有**、小型、节能的特点，并能根据室内环境中常见污染物的不同等级**调整输出阻抗。AS-MLV-P2的小巧尺寸、高**度、高可靠性和低功耗**适用于智能家居和物联网设备的空气质量监测应用。在Withings时尚、精致的Home系列产品中，包含AS-MLV-P2和一个500万像素的摄像头、双麦克风、温度及湿度传感器和Wi-Fi® 、Bluetooth®等智能无线通信模块。这意味着Home监测系统使用者能够通过智能手机或平板电脑中Withings提供的app从视觉、听觉、触觉和嗅觉几方面远程了解家中的环境。AS-MLV-P2气体传感器能够测量环境中广泛的还原性气体的浓度，这些还原性气体通常与较差的空气质量有关，如醇类、乙醛、酮、有机酸、胺、脂肪、芳香烃等，这些高浓度的气体可能对人类和动物的健康造成极大的危害。Home app中，传感器能够将这些化学物质的测量结果转换为空气质量等级和VOC浓度。当