“先进的光刻技术从表征良好的空白光罩开始。” KLA-Tencor的光罩和宽带等离子晶圆检测部总经理熊亚霖博士指出,“无缺陷的EUV光罩坯件极难制造,这不仅推高了生产成本,也推延了EUV光刻可能带给新一代芯片制造的惠益。 我们全新的FlashScan空白光罩检测仪可以在裸基板,吸收膜和光阻涂层上捕获各种类型的缺陷。此外,对比目前市场上的其他系统, FlashScan系统具有更高的产量和灵敏度,这将缩短空白光罩制造商和光罩厂的学习周期时间。”
利用KLA-Tencor晶圆缺陷检测系统的激光散射技术,FlashScan系统可以满足目前所有正在开发和生产的光学与EUV空白光罩对于灵敏度和检测速度要求。采用光罩检测市场独特的三通道数据采集系统,该系统可以对各种类型的光罩坯件的缺陷进行检测、尺寸测量和区分,例如在空白光罩制造或运输期间可能出现在光阻上的针孔和掉落颗粒。
**的光罩厂对高灵敏度、高产量和全类型的缺陷检测系统显示了浓厚的兴趣,这证明了市场对该产品的需求。为了保证空白和图案光罩制造商所需的优异性能和产量,FlashScan系统由KLA-Tencor全球综合服务网络提供技术支持。有关新FlashScan产品系列的更多信息(包括当前型号的说明)请查阅FlashScan的网页。