在 2017 年,EUV 光刻机的年产量只有 12 台,几乎每个月只生产出一台。 就其高难度的生产技术来说,使得每台 EUV 光刻机的单价超过了 1 亿欧元。 不过,虽然售价高昂,但依旧供不应求。 目前 ASML 的客户有 8 个之多,其中就包括台积电、三星和英特尔。 这些半导体大厂们为了快速快速下一代新的制程,他们甚至还出钱帮助 ASML 加快研发 EUV 研发进度。
不过,多年来 EUV 的商业化之路依旧走得艰辛。 因为,在光照亮度的提升始终未能达到客户的预期,而且采用 EUV 技术的成本也高得吓人的情况下,EUV 技术的进展一直很缓慢。 过去,摩尔定律始终控制着半导体制程的发展,如今这些半导体大厂期望透过押注 EUV 的发展,进一步改变摩尔定律极限的问题。
据了解,ASML 目前在 EUV 光刻机累积的订单已经达到 27 台,是目前年产量的两倍多。 也就是说,ASML 在 2018 之前的产能已经全部都被订光。 所以,ASML 目前也在采取措施,确保提高生产力能跟上需求。
据了解,ASML 计划在 2018 年将光刻机的年产量逐步扩大到 24 台,而到 2019 年将达到 40 台的年产量。 而这样的扩产计划,进一步拉抬了 ASML 的股价。 根据统计,ASML 的股价在过去一年内涨了 30%,目前公司市值约为 530 亿欧元。