FinFET制程效应扩散 韩厂积极投资测量与分析技术

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日趋**的半导体微细制程和FinFET制程效应,让主要半导体企业加速确保半导体测量和分析技术。尤其在10纳米以下半导体制程中,测量的准确性影响企业的生产效益和芯片性能,三星电子(Samsung Electronics)、SK海力士(SK Hynix)等韩国代表性企业也积极投资研发技术。

据Digital Times报导,三星进入2015年后,存储器、系统LSI事业部总计增加750多人等,加强测量部门,SK海力士也大规模延揽博士级专业人才。目前三星和SK海力士测量设备有9成以上依赖美国进口,每台要价20亿~30亿韩元(约172万~258万美元),未来将透过与韩国企业加强合作,确保本身的技术能力。

三星在存储器、系统LSI事业部各设置测量技术团队。以2015年为基准,包含操作员,存储器事业部和系统LSI事业部各拥有300多及450多位测量技术人员。除管理、检测外,直接开发测量技术相关解决方案的工程师,也有150多人。

SK海力士自开始研发及生产3D NAND Flash后,大幅扩编测量技术人才。2015年大规模延揽博士级测量技术人才,在数量和质量方面都将持续扩大。SK海力士内部人员表示,伴随微细制程复杂化,不仅2015年,2016年SK海力士也持续增加半导体制程的测量和分析人才。

主要半导体企业加强测量技术,是因制程复杂,渐渐难以确保良率。从平面结构跨越到FinFET立体结构,分析过程更为困难。

为加强半导体测量技术力,全球企业间的购并活动变得活跃,美国设备业者的影响力也更强大。近期设备业界*大的交易案之一,就是美国设备大厂科林研发(Lam Research)购并晶圆检测设备厂科磊(KLA-Tencor),科林透过购并确保微细测量和精准的分析技术。

另一方面,韩国测量设备的国产化仍遥遥无期。韩国设备业界人士透露,目前主要半导体业者使用的美国制半导体分析设备,无法确保10纳米以下的准确性。

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