近日，北方华创自主研发的Saqua系列12吋单片铜互连清洗机获得客户二次订单，进入中芯国际B2芯片生产线，标志着公司又一款28纳米工艺制程设备获得市场认可。
Saqua系列清洗机是北方华创研制的，具有完全自主知识产权的新一代**集成电路清洗工艺设备。Saqua系列清洗机立足于全新的模块化设计理念，先后通过了65nm、55nm、40nm等工艺验证，各类工艺指标表现优异，**满足集成电路铜制程清洗工艺的要求，达到国际同类型产品同等技术水平。
Saqua系列单片铜互连清洗机通过了严苛的工艺验证及试生产，截止2016年12月，Saqua清洗机在IC大生产线上累计流片量突破60万片，创造了国产集成电路设备流片量纪录，充分验证了Saqua清洗机的工艺适用性及可靠性。
此外，北方华创自主研发的Booster A630单片退火设备，也成为首台搬入上海华力微电子二厂的**电子工艺装备。
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