近几年在显示面板市场中相当热门的话题大概就是Micro LED
LuxVue在2014被Apple并购,其所拥有的Micro LED相关**是众家厂商中*多的,在转移技术上其主要是采用静电吸附的巨量转移技术。
**名称:Micro device transfer head array
公告号:US 9548233 B2
为了达到更好的转移效率,使用巨量转移技术的厂商不断开发出各式各样的转移头,而Apple这篇**的特殊之处在于其转移头具有双极的结构,可以分别施予正负电压。
转移头的平台结构被介电层对半分离形成一对硅电极,当要抓取基板上的LED时,对一硅电极通正电,对另一硅电极通负电即可将目标LED拾取。
图5. US 9548233的Figs. 1B, 34, 35 (图片来源: USPTO)