Manz亚智科技总经理林峻生表示,虽然Manz集团是德商背景,但面板湿制程设备基本上都是由台湾负责研发制造,因此,不管是CIM或黄光Track Line系统,都是出自台湾研发团队的手笔,供应链也以两岸业者为主。 因此,亚智推出CIM与黄光Track Line,对两岸的面板设备产业来说,具有相当的里程碑意义。
对面板厂来说,CIM与Track Line可说是黄光微影制程的软硬核心。 Track Line是负责串联玻璃清洗、光阻涂布、预热、曝光、固化等各种制程机台的硬件系统,CIM则是与Track Line搭配的软件平台。 以往Track Line都是由日系业者提供,因此CIM通常也是日系业者的天下,或是由面板厂自行寻找其他第三方软件伙伴来开发。
与目前的作法相比,亚智提供的软硬整合方案是一站式的服务,不仅可以帮面板厂省下另外开发CIM的时间跟沟通成本,而且Track Line各单元的设备参数、生产配方、履历等数据,与亚智的CIM也可紧密衔接。 面板厂可藉此对产线进行实时、完整的监控,不仅有助于找出制程缺陷及其成因,改善良率,同时还可做到设备预防性维护,以提升产线稼动率。
更积极来看,由于Track Line设备与CIM本土化,面板制造业者未来不用再受制于日系设备业者,可以有更多供货商选择,且若有系统客制化需求,亚智也可以快速为客户做出调整,提供更实时的服务。 这对于面板制造商发展自己的独特产品制程,将有很大的帮助。
林峻生透露,亚智目前在面板湿制程领域已经有很完整的产品组合,在面板厂安装的机台数量更超过3,000台,很多面板客户都鼓励亚智从提供单一设备往更高整合度的系统发展。 这也是亚智决定投入Track Line跟CIM的原因。 目前亚智的高世代面板设备已经发展到10.5代及10.6代,客户群涵盖海峡两岸的各大面板制造商。