随着“物联网”、“智慧城市”、“智能家居”、“远程医疗”等**概念的兴起，及全球信息数据采集需求的旺盛，MEMS传感器的应用变得无所不在。11月16日，在第十五届中国国际高新技术成果交易会上，全球**的被动元器件企业——村田带来了其*新的MEMS传感器技术，积极开进汽车、工业、农业和医疗等领域。村田（中国）投资有限公司MEMS传感器产品技术部经理方杜鲁那拉女士及销售市场部经理丸山豪接受了记者访问。

挺进汽车、工农业和医疗 把握好“主动性” 

       方杜鲁那拉女士用三个关键词概括了村田MEMS传感器的应用特性：一是在汽车应用领域的“主动**”，二是在工农业应用领域的“精准”，三是在医疗应用领域的“主动预防”和“智能化”。

              村田（中国）投资有限公司MEMS传感器产品技术部经理 方杜鲁那拉

       村田并不是一家做MEMS的公司，成立六十多年以来，一直以陶瓷为材料的被动元器件著称于世，尤其是在多层陶瓷贴片电容(MLCC)领域的成就高居世界首位。随着MEMS传感器市场需求的火爆及技术的日渐成熟，村田于2012年初并购了芬兰的MEMS巨头公司VTI，顺利打进MEMS传感器领域。

       目前，村田的MEMS产品从设计、生产、封装、调试整个产线都在芬兰完成，800人团队归属村田后，分布于世界各地为各国客户提供技术支持。杜鲁那拉介绍说，目前村田的产品线分为三大版块：一是功能模块、无线通信和电源模块产品；二是通用类产品，如陶瓷电容、电阻、电感等被动元器件产品；三是特殊产品，MEMS就是其中一部分。

       她告诉记者，在电子行业**是村田一直的追求，此次高交会重点推出MEMS传感器，一是村田有不断追求新事物的传统，二是看到了物联网趋势下“智能生活”对于MEMS需求的爆发式增长。

       村田MEMS传感器以微机单晶硅为主要构成。作为三大应用领域之一的汽车电子领域，杜鲁那拉强调了在汽车驾驶过程中对于事故的提前防范，也就是“主动**”。相比“**气囊”这种事故发生后的“被动**”，村田的MEMS传感器可以做到“防患于未然”，比如其“倾角传感器”可在道路倾斜时让汽车静止不滑动，且可以检测到2度的倾斜角，对温度和寿命有精准的测定。

       与此同时，村田的加速度传感器、防止翻车的陀螺仪传感器，以及它们的组合传感器，均在汽车主动**设计上功不可没。据杜鲁那拉介绍，村田日后还会加入压力传感器，可应用在胎压的检测上。村田想通过这种主动的方式去感知环境，从而达到保护驾驶员生命**的目的。

       据记者了解，目前做汽车车身电子稳定系统（ESC）传感器这一块，*大的两家公司就是村田和博世，而村田占据了大部分中**汽车市场。“村田是**个把MEMS传感器用在主动**上的，90年代初，奔驰就已经用到了村田的MEMS传感器，”杜鲁那拉非常自豪地说，“ESC在汽车急转弯时可控制车轮，防止翻车问题，目前欧美国家已经强制性推行，预计到2015年，欧、美、日、韩、澳所有车都会安装车身稳定系统，目前中国还没有强制性推行，村田希望帮助国内汽车厂商开发这项新技术。”

       “这个市场很大，且每个公司有自己的产品定位，比如ADI的价格更亲民，虽然精度没我们高，但在某些应用还会有它们的市场，我们乐见行业的竞争。”杜鲁那拉补充说。

       目前，在中国本地制造的汽车，如吉利、奇瑞、比亚迪等，尤其是混动和新能源汽车，都有应用到村田的MEMS传感器，不过，这些传感器技术目前都是从国外买进，还没有自己的研发，而接下来村田会帮他们实现自主研发。

                                       MEMS传感器在汽车领域的应用

        同样的，除了汽车电子应用的“主动**”，在医疗电子领域，村田传感器也发挥了“主动预防”的特色，同时在可靠性、质量、功耗方面表现出色。目前村田的MEMS传感器已经应用到多个医疗领域，尤其是在主动式心脏起搏器领域，村田研发出的加速度传感器元件，功耗仅为纳安级，可以待机10年。杜鲁那拉强调：“目前欧洲100%的市场、全球80%的心脏起搏器市场都用到了村田的MEMS传感器，启用15年来从没出过一次事故。”

       杜鲁那拉进一步解释说：“心脏在跳动的过程中，血液会往下流动，产生一个往下的压力和往上的反作用力。村田加速度传感器可以感受这两种力对皮肤带来的机械振动，通过对机械信号的软件分析，得出用户心跳、泵血方面的状况。这种产品取代了传统的需要连线的设备，通过身体间接碰触(皮肤振动)就可以做心脏冲击扫描。”此外，村田还能够在手术以及**过程中，更灵活方便地调节角度变化以及捕捉动态影像的倾角传感器，以及用于眼压监测、脑压监测等领域的元器件。

       除了在汽车和医疗领域的主动性和智能化，MEMS传感器“可通过采集μm级的变化来确定加速度、倾角或各种数据环境的变化”的特性，也保证了MEMS传感器在精准工业和农业领域的发展中占据了一席之地。

       在工业和农业领域，MEMS传感器体现的是任何条件下，对于精、准的高要求。杜鲁那拉告诉记者，在工业领域，MEMS传感器的运用不仅体现在建筑工具及系统、重型机械和天线稳定等方面，由于具有杰出的抗震性能，能够抵抗高达20000G的重力，因此在地震预测，桥梁倒塌等事故的预测中，村田的MEMS传感器一样可以发挥至关重要的作用。

       “而在精准农业的定义之下，高**的MEMS技术需要解决耕地面积逐渐减少，产量需求却逐步增大的难题。村田的农业解决方案提供高达10厘米精度和自动化控制的优势，*大限度地降低养殖成本，并*大限度地提高产量。”杜鲁那拉说，“未来的农业也会是个不同的景象：在插秧的设备上搭载MEMS传感器，它可以做到同角度高准确的种植，在同样的投入下收获更高的产量。”