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1 2017年09月26日  星期二  

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2 2016年12月05日  星期一  

上海工研院面向MEMS的8寸研发中试线6月底将投运

上海市政府网站

近5000平方米的洁净室,每一块地板的孔洞数量,为了循环洗涤都经过精准计算。其中用来曝光和显影的“黄光区”,洁净度更高,1分钟内1立方英尺的空间大于0.2微米的微尘必须少于10颗。这里正是上海微技术工研院建设的国内首条专注“超越摩尔”领域,面向微机电系统的8寸研发中试线所在地。6月底,这条中试线将启动试运行。 到2020年,上海市将培育形成约30家研发与转化功能型平台,与张江综合性国家科学中心共同组成上海科创中心建设的“四梁八柱”。上海微技术工业研究院(简称工研院)正是**个启动的平台。这家新型研发机构成立4年来,走过了一条不寻常的机制体制**之路。企业化运作的研发与转化平台成立于2013年5月的上海微技术工业研究院,以上海新微技术研发中心有限公司为运营实体。与一般事业编制的研发机构不同,它是一家企业化运作的研发与转化功能型平台,其目标是打造***传感器及超越摩尔领域龙头新型研发机构。“活”是企业*大的特点,工研院便在“活”上做足文章。以往从实验室研发出成果到量产,有很长的一段路要走,中试就是一个必经阶段。不过,中试在很多企业看来是一桩性价比很低的“买卖”,不仅要拿出原本赚钱的设备和生