日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂 KS-41A
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日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂KS-41A苏州设备直销
产品详细信息
KS-41A
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用于浸没式颗粒传感器和抗蚀剂
光刻胶溶液和SOG中的颗粒可以从0.15μm处测量
- 可以连接到多点监控系统
规范
| 光学系统方法 | 横向散射法 |
|---|---|
| 光源 | 半导体激光器（波长830 nm，额定输出200 mW） |
| 湿接触材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度分类 |
0.15微米至0.5微米范围内的10步 装运：0.15微米，0.2微米，0.3微米，0.5微米或以上的4步 |
| 额定流量 | 10mL /分钟 |
| *大颗粒浓度 | 1,200个/ mL（计数损失在5％以内） |
| 电源供应 | DC12V（由KE-40B1提供） |
| 尺寸 | 大约160（H）x 300（W）x 251（D）mm（不包括突起） |
| 重量 |
约7.5kg |
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