日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂 KS-21B
产品简介
日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂KS-21B 苏州设备直销
产品详细信息
KS-41B
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用于浸没式颗粒传感器和抗蚀剂
光刻胶溶液和SOG中的颗粒可以从0.1μm处测量
- 可以连接到多点监控系统
规范
| 光学系统方法 | 横向散射法 |
|---|---|
| 光源 | 半导体激光泵浦固体激光器（波长532nm，额定输出500mW） |
| 湿接触材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度分类 |
0.1微米至0.5微米范围内的10步（对于纯净水等透明液体 ，可选0.07微米或以上）装运：0.1微米或更大，0.15微米或更大，0.2微米或更大，0.3微米或更大，0.5微米或更大5个阶段 |
| 额定流量 | 5mL /分钟 |
| *大颗粒浓度 | 9,600个/ mL（计数损失在10％以内） |
| 电源供应 | DC12V（由KE-40B1提供） |
| 尺寸 | 约164（H）x 464（W）x 305（D）mm（不包括突起） |
| 重量 |
约12.5公斤 |
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