膜厚测量用多通道光谱仪MCPD系列

分光光谱仪种类

• MCPD-9800：高动态范围分光

• MCPD-6800：紫外/可见/近红外光分光光谱仪

• MCPD-7700：高感度分光

膜厚测量

半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剥离液厚度、湿状薄膜涂布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能性薄膜、包裝膜

膜厚测量(分光光谱仪 + 显微镜)

半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剥离液厚度、湿状薄膜塗布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能性薄膜、包装膜。

影印機感光鼓膜厚度量測

半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剥离液厚度、湿狀薄膜塗布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能能性薄膜、包装膜

LB膜测量

蒸馏膜测量

多点膜厚测量

• 半导体晶圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）

• 光阻剥离液厚度、湿狀薄膜

• 塗布膜（Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头）

• 树脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、机能能性薄膜、包装膜