半导体行业SEMI F47测试
—IT7800如何轻松编辑电压瞬降波形
相信大家都有所了解,半导体制造厂商对供电有着极高的要求,特
别是对于电力供应品质要求更高的晶圆相关产业,一旦发生电压瞬降,
不仅对敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害,也会使制程中
断,而产生极大的损失。为了能保护敏感的设备能够免于电压瞬降的危
害,SEMI F47 标准规定了半导体制程设备对电压瞬降的耐受等级,要
求对通常发生在交流电网中的电压骤降具有“免 疫 力”。
何谓SEMI F47电压瞬降测试?电压瞬降通常是指负载端电压值降
到额定电压值的 90%以下,并持续0.5~60个周期,而SEMI F47是半
导体制程设备电压暂降抗扰度规范。在SEMI F47-0706中,以50Hz为例,电压为50%标称值时为10周、电压为 70%标称值时为25周、电压为80%标称值时为50周。一些晶圆厂会要求更高等级的耐受,相
较F47-0200增加电压瞬降的耐受时间或强度,在电压为0%标称值时
为1周,电压为80%标称值时为500周。
艾德克斯始终致力于提供以功率电子为核心的全方位专业测试测
量解决方案,全新一代交流电源产品系列 IT7800大功率可编程电源、IT7900/P回馈式电网模拟器拥有强大的任意波形编辑功能,除了内置
的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28 等法规波形外,还可以模拟谐波/间
谐波及各种复杂的电网扰动波形,是测试和实验室的理想选择。
以下是某客户的测试需求:
SEMI F47 法规测试
三相输出,其中一相 1 个周期 50Hz(20ms)的瞬降(0V)
解决方案:通常大家可能会想到用 List 功能来编辑此波形,这是可
以的,然而对于非整数周期,像是60Hz(16.7ms),计算每个单步的
持续时间就相对复杂。此时我们可以考虑用突波/陷波功能来轻松实现。
IT7800/7900/P系列电源提供突波/陷波的模拟功能,用户可以根据
需求在输出的波形基础上加上突波/陷波来模拟电路系统中电压的异常
波动,而且突波/陷波可以叠加在任意基础波形上,设置如下:
实测波形如下:
可以看到 A 相跌落到 0,持续时间 1 个周期,每 5 个周期出现一次。
IT7800大功率可编程交流电源、IT7900/7900P回馈式电网模拟器在 3U 的
有限空间里面,提供了高达15kVA 的功率输出。单个机柜功率*大可达 165kVA,
*多可扩展至 960kVA。同时相电压输出达 350V,具有 AC/DC/AC+DC/DC+AC
四种输出模式,单相,三相及反相等灵活输出能力。适用于新能源、轨道交通、
半导体及科研院校等多个领域的研发、生产、质检阶段。IT7900电网模拟器还具有孤岛保护测试功能,可用于并网逆变器、储能PCS测试;IT7900P除了可
以作为电网模拟器和全四象限功率放大器使用,同时也是一台回馈式的交/直流
电子负载。了解更多可联系我们。
IT7900P回馈式电网模拟器基本特点
♦ 高功率密度,2U可达6kVA ,3U可达15kVA
♦ 电压可达350 VL-N
♦ 高效的能量回馈
♦ 主从均流,并机可达960kVA *1
♦ 内建丰富的波形数据库
♦ 支持单相/三相/反相/反相模式下电压可扩展至200%额定电压
♦ 支持NORMAL/LIST/SWEEP,任意一种模式均可以叠加Surge&Sag功能
♦ 触摸屏设计,简洁的UI界面
♦ 相位角0~360°可设
♦ 高达50次的谐波模拟和分析功能,内置IEC61000-3-2/3-12等测试法规 *2
♦ 可模拟任意波形输出,支持CSV文件导入波形
♦ 选配电流源选件 *3
♦ 内置USB/CAN/LAN/数字IO,选配GPIB/模拟量&RS232接口
♦ 多种保护功能,包括自动清保护、瞬时过电压保护POVP、软件看门狗等
IT7900P回馈式电网模拟器源特点
♦ 全四象限回馈式电网模拟器
♦ 输出频率:16~2400Hz *4
♦ 功率放大器,适用于功率硬件在环(PHiL)测试
♦ 专业孤岛测试模式,支持R/L/C及有功、无功功率设定
♦ 可实现AC/DC/AC+DC/DC+AC四种输出模式
♦ 多通道功能,单机可同时测试1~3个待测物 *5
♦ 可编程输出阻抗,模拟电力线路阻抗
♦ 谐波/间谐波波形合成
♦ 锁频和锁相功能,实现6相/12相电源输出
♦ 满足低电压穿越,相位跳变,频率变动、谐波注入等并网法规测试
♦ 内置IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法规波形测试
♦ 提供丰富的触发配置,同步捕获待测物电压波形,实现数据的采集与仿真功能
♦ 选配专业软件,配合多国**法规测试条件设立程序,可完成民用航空电子及IEC相关标准的测试 *3
IT7900P回馈式电网模拟器载特点
♦ 全四象限回馈式交/直流电子负载
♦ 输出频率:16-500Hz
♦ AC模式下支持CC/CP/CR/CS/CC+CR/CE多种工作模式,
♦ CE模式可以模拟单相整流RLC和并联RLC等多种电路拓扑
♦ DC模式下支持CC/CR/CP/CV等9种工作模式
♦ AC模式下支持整流和非整流两种模式
♦ 可调节波峰因数:1.414 ~ 5.0
♦ 支持相移功能,范围为-180º~180.0º *6
♦ 单位功率因数1功能可以使电流波形随电压波形变化,功率因数尽可能接近为1
♦ 支持抽载与卸除角度控制,0-359°全范围都可设定
*1 1U/2U*多可并16台,3U机型*多可并64台
*2 电压/电流谐波分析,源模式下电压谐波模拟,载模式下电流谐波模拟,基波≤60Hz
*3 即将发布
*4 电网模拟器和孤岛模拟模式下,16~150Hz
*5 单相机型不具备多通道功能
*6 开启整流功能后,相移的设置范围受峰值因数的约束
*7 1U/2U机型即将发布