TH521-02-200C 功率器件分析仪
产品简介
该系列功率器件分析仪是一款用于电路设计的综合解决方案,可帮助电力电子电路设计人员选择适合自身应用的功率器件,让其电力电子产品发挥*大价值。它可以评测器件在不同工作条件下的所有相关参数,包括IV参数(击穿电压和导通电阻)、三端F ET电容、栅极电荷和功率损耗。用于电路设计的该系列功率器件分析仪具有完整的曲线追踪仪功能以及其他功能。
产品详细信息
产品特点
| TH521-02-20 | IV: 200V/20A | TH521-35-20 | IV: 3500V/20A |
| TH521-02-20C | IV: 200V/20A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-20C | IV: 3500V/20A, CV: 10MHz, Qg |
| TH521-02-200 | IV: 200V/200A | TH521-35-200 | IV: 3500V/200A |
| TH521-02-200C | IV: 200V/200A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-200C | IV: 3500V/200A, CV: 10MHz, Qg |
| TH521-02-600 | IV: 200V/600A | TH521-35-600 | IV: 3500V/600A |
| TH521-02-600C | IV: 200V/600A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-600C | IV: 3500V/600A, CV: 10MHz, Qg |
| TH521-02-1800 | IV: 200V/1800A | TH521-35-1800 | IV: 3500V/1800A |
| TH521-02-1800C | IV: 200V/1800A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-1800C | IV: 3500V/1800A, CV: 10MHz, Qg |
TH521 的常规特性
•高达3.5kV/1800A的宽广工作范围
•从-50°C到+250°C的全自动快速热测试
•自动创建功率器件(半导体和元器件)的技术资料
•自动记录功能可防止数据丢失
•AI辅助编写python测试脚本
TH521 IV套件特性
•可对封装和晶圆上器件进行全自动快速IV测量(Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat等)
•窄IV脉冲宽度(*窄10μs)可防止器件自发热,更准确地测试器件实际性能
•示波器视图(时域视图)可以监测实际电压/电流脉冲波形,以便进行准确测量
•配置可以灵活扩展,添加CV和Qg,将电流范围从20 A扩展到200A、600 A或1800 A
TH521 套件的完整特性
•IV套件的全部特性
•测量封装器件在3.5 kV时的晶体管输入、输出和反向传输电容
(Ciss、Coss、Crss、Cies、Coes、Cres)以及栅极电阻(Rg)
•测量封装器件的栅极电荷(Qg)曲线
•计算功率损耗(传导、驱动和开关损耗)
产品应用
•半导体功率器件
二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析
•半导体材料
晶圆切割、C-V特性分析
•液晶材料
弹性常数分析、液晶切割
•电容元件
电容器C-V特性测试及分析,电容式传感器测试分析
产品参数
| MCSMU | |||
| 电压范围、分辨率和精度 | |||
| 电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度(% + mV + mV) | *大电流 |
| 200mV | 200nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 1A |
| 2V | 2μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 1A |
| 20V | 20μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 1A |
| 40V | 40μV | ±(0.06 + 3 + Io x 10) | 1A |
| 电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度(%+A+A) | *高电压 |
| 10μA | 10pA | ±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10) | 30V |
| 100μA | 100pA | ±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9) | 30V |
| 1mA | 1nA | ±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 30V |
| 10mA | 10nA | ±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7) | 30V |
| 100mA | 100nA | ±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6) | 30V |
| 1A | 1uA | ±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5) | 30V |
| 典型分辨率 | 6½位 | ||
| *大电压 | ±30V | ||
| *小电流 | 10pA | ||
| 脉冲*大占空比 | 5%(峰值超过100mA时) | ||
| 脉冲*小宽度 | 10μs | ||
| 脉冲*大宽度 | 100ms(峰值超过100mA时) | ||
| 直流*大电流 | ±100mA | ||
| 脉冲*大峰值 | ±1A | ||
| 脉冲*大基值 | ±50mA(峰值超过100mA时) | ||
| MFCMU | ||
| 频率范围 | 1kHz~10MHz | |
| 频率 | *小频率分辨率 | 1mHz |
| 频率精度 | ±0.008% | |
| 电平范围 | 0~1V | |
| AC电平 | 分辨率 | 0.1mVrms |
| 精度 | ±(10%*设定值+2mV) | |
| 范围 | 0~±25V | |
| DC偏置 | 分辨率 | 1mV |
| 准确度 | 1%*设定电压+8mV | |
| 输出阻抗 | 100Ω | |
| 测试端配置 | 四端对 | |
| 测试时间 | 0.05plc~100plc(1plc=20ms) | |
| 电容 | 显示范围 | 0.00001pF~9.99999F |
| *高准确度 | 0.10% | |
| HVSMU | |||
| 电压范围、分辨率和精度 | |||
| 电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度±(%+mV) | *大电流 |
| 200V | 200uV | ±(0.03+40) | 8mA |
| 500V | 500uV | ±(0.03+100) | 8mA |
| 1500V | 1.5mV | ±(0.03+300) | 8mA |
| 3500V | 3.5mV | ±(0.03+600) | 4mA |
| 电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度(%+A+A) | *高电压 |
| 10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-9 + Vo x 8E-12) | 3500V |
| 1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-9 + Vo x 8E-12) | 3500V |
| 100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-11) | 3500V |
| 10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7+ Vo x 1E-9) | 1500V |
| 典型分辨率 | 6½位 | ||
| *大电压 | ±3500V | ||
| *小电流 | 10fA | ||
| HCSMU | |||
| 电压范围、分辨率和精度 | |||
| 电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度(% + mV + mV) | *大电流 |
| 200mV | 200nV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.05) | 20A |
| 2V | 2μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 20A |
| 20V | 20μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 20A |
| 40V | 40μV | ±(0.06 + 3 + Io x 10) | 1A |
| 电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度(%+A+A) | *高电压 |
| 10μA | 10pA | ±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10) | 40V |
| 100μA | 100pA | ±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9) | 40V |
| 1mA | 1nA | ±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 40V |
| 10mA | 10nA | ±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7) | 40V |
| 100mA | 100nA | ±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6) | 40V |
| 1A | 1μA | ±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5) | 40V |
| 20A | 20μA | ±(0.4 + 2E-3+Vo x 1E-4) | 20V |
| 典型分辨率 | 6½位 | ||
| *大电压 | ±40V | ||
| *小电流 | 10pA | ||
| 脉冲*大占空比 | 1%(峰值超过1A时) | ||
| 脉冲*小宽度 | 50μs | ||
| 脉冲*大宽度 | 1ms(峰值超过1A时) | ||
| 直流*大电流 | ±1A | ||
| 脉冲*大峰值 | ±20A | ||
| 脉冲*大基值 | ±100mA(峰值超过1A时) | ||
| MPSMU | |||
| 电压范围、分辨率和精度 | |||
| 电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度(% + mV + mV) | *大电流 |
| 100mV | 100nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 100mA |
| 1V | 1μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 100mA |
| 10V | 10μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 100mA |
| 20mA(≥40V) | |||
| 100V | 100μV | ±(0.012 + 2.5 + Io x 10) | 50mA(≤40V) |
| 100mA(≤20V) | |||
| 电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度(%+A+A) | *高电压 |
| 10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-12 + Vo x 1E-14) | 100V |
| 100nA | 100fA | ±(0.05 + 2E-11 + Vo x 1E-13) | 100V |
| 1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-10 + Vo x 1E-12) | 100V |
| 10μA | 10pA | ±(0.04 + 2E-9 + Vo x 1E-11) | 100V |
| 100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-10) | 100V |
| 1mA | 1nA | ±(0.03 + 6E-8 + Vo x 1E-9) | 100V |
| 10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 100V |
| 100V(≤20mA) | |||
| 100mA | 100nA | ±(0.04 + 6E-6 + Vo x 1E-7) | 40V(≤50mA) |
| 20V(≤100mA) | |||
| 典型分辨率 | 6½位 | ||
| *大电压 | ±100V | ||
| *小电流 | 10fA | ||
| UHCU | |||
| 电压范围、分辨率和精度 | |||
| 电压量程 | 测量分辨率 | 输出分辨率 | 输出/测量精度±(%+mV) |
| 60V | 100μV | 200μV | ±(0.2+10) |
| 6V(仅测量) | 10μV | ------ | ------ |
| 电流范围、分辨率和精度 | 测量分辨率 | 输出分辨率 | 输出/测量精度(%+A+A) |
| 200A | 500μA | 1mA | ±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo) |
| 600A | 500μA | 1mA | ±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo) |
| 1800A | 2mA | 4mA | ±(0.8 + 0.9 + 0.02*Vo) |
| 脉冲*大占空比 | 0.4%(600A量程);0.1%(1800A量程) | ||
| 脉冲*小宽度 | 10μs | ||
| 脉冲*大宽度 | 1ms(600A量程);500μs(1800A量程) | ||
| 脉冲*大峰值 | 200A、600A、1800A | ||
| 脉冲分辨率 | 2μs | ||
| HVMCU | ||||||
| *大输出规格 | ||||||
| +3500V/4mA | +1500V/8mA | |||||
| 峰值输出规格 | ||||||
| 电压范围 | 峰值功率 | |||||
| ±2200V | 600W | |||||
| ±1500V | 900W | |||||
| 电压范围、分辨率、精度 | ||||||
| 电压范围 | 设置分辨率 | 测量分辨率 | 设置精度1,2,3±(%+V) | 测量精度1,2±(%+V) | ||
| ±2200V | 3mV | 3mV | ±(5+20) | ±(0.8+1.8) | ||
| ±1500V | 1.5mV | 3mV | ±(5+20) | ±(0.8+1.8) | ||
| 1:测量精度:±(读数的 6% + 固定电压偏移) | ||||||
| 2:精度定义条件:在 1.1 A 档位和 2.5 A 档位下,以 100 μs 脉冲测试;在 100 mA 档位下,以 1 ms 脉冲 | ||||||
| 3:设定精度:在开路条件下定义 | ||||||
| 电流范围、分辨率、精度1,2 | ||||||
| 电流范围 | 测量分辨率 | 测量精度1±(%+A+A) | ||||
| ±2.5A | 4μA | ±(0.9+4E-3+Vo×3E-7) | ||||
| ±1.1A | 4μA | ±(0.9+4E-3+Vo×3E-7) | ||||
| ±110mA | 200nA | ±(0.9+2E-4+Vo×3E-7) | ||||
| 1:当电流大于 1.1 A 时,厂家提供额外的性能说明或参数限制。 | ||||||
| 2:相关的精度或特性是在 对 20 个采样点取平均值 的条件下有效。 | ||||||
| 脉宽和分辨率 | ||||||
| 输出范围 | 脉宽 | 分辨率 | ||||
| 1500V/2.5A | 10μs-100μs | 2μs | ||||
| 2200V/1.1A | 10μs-100μs | 2μs | ||||
| 2200V/110mA | 10μs-1ms | 2μs | ||||
| 补充特性(HVMCU充电电容0.22μF) | ||||||
| 输出电阻范围 | 标称值 | |||||
| 1500V/2.5A | 600Ω | |||||
| 2200V/1.1A | 2000Ω | |||||
| 2200V/110mA | 20000Ω | |||||
| HPSMU | |||
| 电压范围、分辨率和精度 | |||
| 电压量程 | 输出 / 测量分辨率 | 输出 / 测量精度(% + mV + mV) | *大电流 |
| 200mV | 100nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 1A |
| 2V | 1μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 1A |
| 20V | 10μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 1A |
| 200V | 100μV | ±(0.012 + 2.5 + Io x 10) | 50mA |
| 电流范围、分辨率和精度 | 输出 / 测量分辨率 | 输出 / 测量精度(%+A+A) | *高电压 |
| 10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-12 + Vo x 1E-14) | 200V |
| 100nA | 100fA | ±(0.05 + 2E-11 + Vo x 1E-13) | 200V |
| 1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-10 + Vo x 1E-12) | 200V |
| 10μA | 10pA | ±(0.04 + 2E-9 + Vo x 1E-11) | 200V |
| 100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-10) | 200V |
| 1mA | 1nA | ±(0.03 + 6E-8 + Vo x 1E-9) | 200V |
| 10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 200V |
| 100mA | 100nA | ±(0.04 + 6E-6 + Vo x 1E-7) | 200V |
| 1A | 1μA | ±(0.4 + 15E-5 + Vo x 1E-6) | 200V |
| 典型分辨率 | 6½ 位 | ||
| *大电压 | ±200V | ||
| *小电流 | 10fA | ||
公安机关备案号:


