白光干涉仪 PR-L05 I型表面形状精密测量仪

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产品型号：PR-L05 I型表面形状精密测量仪

品牌：

公司名称：西安普瑞光学仪器有限公司

所在地：陕西西安

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产品简介

西安普瑞光学仪器有限公司主要从事光、机、电一体化**精密测量仪器的开发、生产和销售。目前已拥有世界先进水平的表面形状精密测量仪器PR-L05系列产品，该产品采用光学干涉技术，精密测量样品的表面形状分布。它可广泛用于测量MEMS基板，半导体集成电路基板以及平板显示器面板等样品的表面三维立体形状的微细结构。与同类测量相比，白光干涉仪具有下列特征：
◆非接触、非破坏测量 
◆高速测量, *高速度可达

产品详细信息

白光干涉仪仪器型号         PR-L05 I型
测量原理         垂直扫描式光学干涉原理
测量范围          4mm
CCD相机画数     652×494(根据用户要求可以提供1024×1024)
扫描方式         使用闭环步进电机进行垂直扫描
垂直分解能      <50nm
水平分解能        0.43μm
测量面积        ≥185×140um 一次测量*大面积为￠8mm (由系统放大倍率和CCD感光面积决定)
测量重复性       ≤5% @1σ(标准台阶)
垂直扫描速度      标准为60μm/s
显微物镜    50×(根据用户要求可以提供2.5×，5×，10×，20×)
物镜固定架     单眼固定架(根据用户要求可以提供物镜旋转接口)
显微目镜        0.5×(根据用户要求可以提供1.0×)
照明光源        卤素光源(根据用户要求可以提供白色或绿色LED)
聚焦方式        手动方式(根据用户要求可以提供电动方式)
载物平台        手动方式(根据用户要求可以提供电动方式)
辅助聚焦功能     计算机辅助自动聚焦
计算机           高性能台式计算机，17英尺液晶显示屏
使用软件         普瑞公司表面测量专用软件