现有一台双面暴光机正在修复中,产地45所,型号:SB-703{3寸} 该机主要用于半导体光电器件、功率器件、传感器、混合电路、微波器件及微电子机械系统（MEMS）等制作的双面对准和曝光。

该类仪器可广泛应用于：微机械电子系统（MEMS）领域、平面显示器制造业和半导体集成器件研发和制造领域，检测样品表面三次元微细形状。在平面显示器制造业，主要用于玻璃基底上的保护膜和氧化膜厚度的测量,，以及彩色滤光板上的BM膜厚，RGB保护膜厚，OC膜厚，ETO膜厚，PS膜厚的测量。在MEMS领域，不仅用于检测具有平面结构的电子线路布局结构分布，更重要的是检测具有立体分布的微型机械元器件、各种微型传感器

AA－MEMS－1.2 AA－MEMS－1×2微机械式光开关，性能处于业界**水平。其插入损耗极低(典型≤0.5dB，*大≤0.8 dB)，体积小：(L)27.0×(W)12.6×(H)8.5,是用于动态配置分插复用器OADM、交叉连接器OXC、系统监测与保护的理想器件。纤小的封装更易于集成进高密度的光通信系统中。

MEMS 电容型氮气阻尼核心器件数字脉冲输出出厂前进行**的标定测试频率响应0~3KHz55 ~+125℃工作温度+5VDC电源, 2mA功耗内置放大处理电路LCC或J型安装可溯源至NISTTTL/CMOS兼容无需外部参考电压源可直接连接MCU良好的EMI防护小尺寸，高精度，低成本

和热梯度的有效手段。检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题，可以有效地检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题。

MEMS硅麦克风

产品描述 NAVI1600 姿态数字磁场罗盘模块是具备集成三轴陀螺来修正磁场偏差的姿态导航数字模块。三轴磁阻，三轴 MEMS 重力加 速度以及三轴 MEMS 陀螺仪传感器组合以在三维空间中能够

XESNS公司MTi 微型航向测量系统AHRS MTi 是微型、集成MEMS惯性测量传感器的陀螺仪增强型航向测量系统(AHRS)。内部低功耗信号处理器提供无漂移三维定向以及经过较核的三维加速度信号、三维角速度和三维地磁场信号。MTi 在照相机、机器人、车辆和其它设备稳定和控制方面性能优越。

NanoFocus公司已开发μscan泄漏检查，泄漏检测仪直接在的光学和光电器件的MEMS硅片上检测。泄漏测试仪是根据光学轮廓与氦检漏真空室联合进行μscan。在硅片上的所有部件都经过μscan泄漏检验。无论膜的大小变形都经过测量和分析。与其他测试工具相比，该测量仪的成本效益好，以及快速，易于操作。

测量微小表面的形状(如MEMS产品、 电气设备、精密模、阳模、球面透镜等)。 M-NanoCoord 系列的每一型号均包含一台*新开发的超高精度主机。M-NanoCoord 系列的每一型号均包