单频VI探测器(性价比高) Octiv Single Frequency VI Probe
产品简介
Octiv Single Frequency VI Probe 单频VI探测器有什么用途?是一种单频VI 探测器,用于测量等离子腔体射频源的电压、电流、相位、谐波、真实功率、入射功率和反射功率。包含一个射频VI传感器和高速的数据采集系统,利用高速数字傅里叶变换可以高度**的测量基础射频电压、电流和相位。
产品详细信息
单频VI探测器(性价比高)
1)测量:电压, 电流, 相位;真实、入射、反射功率;阻抗;谐波成分。
2)显示:表图显示参数;***圆图;谐波图;时间趋势图。
范围 |
分辨率* |
**度* |
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功率 |
2.5kW |
电压;电流 相位 |
± 0.25V;± 5.0mA ± 0.01° |
电压;电流 相位;功率 |
± 1%;± 1% ± 1%;± 1% |
频率 |
13.56MHz +/- 0.5MHz |
更多可用范围: |
传感器频率范围: (400k 功率可达 5kW |
采样率 |
1-10Hz |
电压 |
0 - 3000 Vrms |
传感器阻抗 |
50 Ohms |
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电流 |
0 - 50 Arms |
尺寸 |
70/70/ |
介入损失 |
0.05dB |
相位 |
-90° -> + 90° |
重量 |
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* at 13.56MHz,300W,50Ωload, |