LPCVD CL

  主要技术指标:

★  工作温度:        400～1000℃

★  恒温区:          600 mm

★  恒温区温度梯度:  ±30℃

★  极限真空度:      1 Pa

★  工作压力:        30～133 Pa

★  送料机构:        自动悬臂舟/手动

★  控制系统:        触摸屏＋PLC 工艺全自动

★                   单片机+欧陆表工艺全自动

★  气路系统:        进口MFC  气动阀  VCR接口

★  真空系统:        机械泵＋罗茨泵＋抽气冷阱

★  膜厚均匀性:      片内、片间、批次间±5%

★  特气柜:          可配备标准特气柜