硅片MEM检测 硅片MEM检测
产品简介
NanoFocus公司已开发μscan泄漏检查,泄漏检测仪直接在的光学和光电器件的MEMS硅片上检测。 泄漏测试仪是根据光学轮廓与氦检漏真空室联合进行μscan。在硅片上的所有部件都经过μscan泄漏检验。无论膜的大小变形都经过测量和分析。与其他测试工具相比,该测量仪的成本效益好,以及快速,易于操作。
产品详细信息
NanoFocus公司已开发μscan泄漏检查,泄漏检测仪直接在的光学和光电器件的MEMS硅片上检测。
泄漏测试仪是根据光学轮廓与氦检漏真空室联合进行μscan。在硅片上的所有部件都经过μscan泄漏检验。无论膜的大小变形都经过测量和分析。与其他测试工具相比,该测量仪的成本效益好,以及快速,易于操作。