硅片MEM检测 硅片MEM检测

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产品型号:硅片MEM检测
 牌:其它品牌
公司名称:上海天都能源科技有限公司
  地:上海闵行
发布时间:2011-03-28
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产品简介

NanoFocus公司已开发μscan泄漏检查,泄漏检测仪直接在的光学和光电器件的MEMS硅片上检测。

泄漏测试仪是根据光学轮廓与氦检漏真空室联合进行μscan。在硅片上的所有部件都经过μscan泄漏检验。无论膜的大小变形都经过测量和分析。与其他测试工具相比,该测量仪的成本效益好,以及快速,易于操作。

产品详细信息

NanoFocus公司已开发μscan泄漏检查,泄漏检测仪直接在的光学和光电器件的MEMS硅片上检测。

泄漏测试仪是根据光学轮廓与氦检漏真空室联合进行μscan。在硅片上的所有部件都经过μscan泄漏检验。无论膜的大小变形都经过测量和分析。与其他测试工具相比,该测量仪的成本效益好,以及快速,易于操作。

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