Filmetrics优尼康-3D光学表面轮廓仪的工作原理特点及应用
为什么需要测量表面形貌？
在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，而且表面三维评定参数由于能**、真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就显重要。通过对三维形貌的测量可以比较**地评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出质量的表面，确保零件使用功能的实现。
3D光学表面轮廓仪的测量原理：
光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
3D光学表面轮廓仪的应用
优尼康科技有限公司提供的Profilm3D光学轮廓仪，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
产品特点：
光学轮廓仪对各种产品，部件和材料的表面轮廓，粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用：
传统的机械零件由于受加工设备的限制，对精度包括平面度，粗糙度的要求常规下停留在微米量级。但随着技术发展，人们对机械零件的加工精度要求开始向纳米量级迈进，设备加工精度的提高带动检测技术的发展，传统的检测手段包括接触式和2D方式的检测方法对检测纳米量级精度的机械零件有很大的局限性。
光学轮廓仪应用在光学加工行业时，其3D、高速、精密、可靠和稳定，开始引起加工人士的注意并开始应用。3D光学轮廓仪已在汽车发动机喷油嘴、半导体切割刀具、人工关节制造、量块标定等方面有大量的应用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直线度和高度差等在机械加工检测中呈现出新的应用。
优尼康科技有限公司提供的Profilm3D光学轮廓仪使用了垂直扫描干涉 (VSI) 结合高**度相移干涉 (PSI) 测量。