光阻剂质量保证与六标准差管理

       半导体业界制程工程师常会发现：供货商保证质量正常的光阻剂，上线使用时却出现质量异常的现象；供货商提供的质量数据显示高度制程能力（highprocesscapability）的产品，却在使用端发现有偏高的**率，这些偶发的质量异常状况常造成制程工程师的困惑。

       电子化学品中难度*高、*关键的就是光阻剂产品，在多元的市场竞争中，永光化学近年来已推出多种光阻剂产品，以高性能的产品、洁净的控管及稳定的质量等优异的特性，持续展现研发和生产团队的实力。永光公司并期望能够提供顾客比同业更完整的产品质量保证，经由建构且落实的6标准差管理质量管理系统，满足顾客迫切的需求、确实提供*稳定的产品质量。

永光化学光阻剂产品质量保证体系的实施特色如下：

高性能的产品特性

（一）质量机能展开（Quality FunctionDeployment；QFD）－经由与顾客互动，结合顾客在黄光微影、蚀刻等实际应用需求，作为研发及生产管制之质量要项，使质量规划满足顾客实际需求。

（二）产品导入实验计划（Design ofExperiment；DOE）－以选定的质量管理要项，于*短时间内推导出系列测试，掌握反应曲面以配制*符合顾客需求之产品。

（三）黄光微影试验设备验证－运用涂布、曝光、蚀刻、去除等制程验证，实施*适化及应用性测试。辅以软件仿真产品之应用效能（ProcessWindow），期更能掌握产品特性，确保产品使用效能，满足顾客需求。

洁净的制程控管

（一）洁净的环境监控－依据产品质量需求，规划不同的洁净等级，分别建立不同洁净等级无尘室，并持续监测环境微粒子、温湿度及金属微粒落尘，以保证生产及检测之环境洁净管制无虞。

（二）微量分析的建构与执行－现今电子化学产品质量规格需求在金属及阴阳离子、微粒子等微量分析之能力已趋近设备侦测极限。因应顾客持续质量提升期许，永光化学以降低检验GRR（Gaugerepeatability &reproducibility），提升量测系统可信度；并以重复性、回收率等质量数据管制，衡量并确认量测系统为稳定且可靠，以期**管制ppblevel洁净质量。

（三）实施量测系统分析MSA（Measurement SystemAnalysis）－依据产品需求，分别实施量测系统误差分析（Bias）、再现性分析（Repeatability）、再生性分析（Reproducibility）、并进行量测不确定性评估。

（四）建立可追溯的检验结果－购买具追溯性标准品、校正各种量具、重金属分析购置验证参考物质CRM（CertificatedReference Material）、显影液分析进行实验室比对，以提供有依循确认、且值得顾客信任的检验结果。

稳定的产品质量光阻剂质量保证与六标准差管理

（一）统计制程管制（Statistical ProcessControl；SPC）－QC工程图中，涵盖IQC、IPQC、OQC等所有生产过程；由各项检验结果，进行统计制程管制（SPC）。

（二）制程能力持续提升－由管制图之统计分析中发觉制程异常，经问题分析找出异常原因，立即采取改善措施，实施OCAP（Outof Control Action Plans），使制程恢复正常。并透过制程能力解析与标准化，不断提升制程能力。

（三）产品质量持续提升－制定各项核心流程关键质量指针（KeyPerformanceIndex；KPI），由KPI展开各阶质量提升计划，并持续追踪管制，以确定质量管理目标达成，藉以**持续改善。

（四）实施产品长效期保存分析－长期监控产品储存质量，建立安定性曲线，以保证效期内质量之正常，并以加速实验掌握环境变动之影响。光阻剂质量保证与六标准差管理

在竞争激烈的产业环境中，永光化学致力于掌握关键原材料、超洁净生产技术之开发及管理，以提升国内黄光关键化学品（光阻剂）核心技术为己任，经由多年扎实经营与辛勤付出，今日该公司已获得70余家顾客的信任与肯定。