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上海卷柔新技术有限责任公司
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光学滤光片与镀膜

光学滤光片与镀膜



需要增透减反技术可以联系我们上海工厂

上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件的高科技企业,公司2005年成立在上海闵行零号湾创业园区,专业的光电镀膜公司,技术背景依托中国科学院,卷柔产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工;光学透镜、反射镜、棱镜,平板显示,安防监控等光学镀膜产品的开发和生产,为全球客户提供上等的产品和服务。

什么是减反射(Anti-reflective)

减反射(AR,anti-reflective),就是减少反射光,反光少了,说明透过的光多了,所以减反射又叫增透。

下面的图中,做过减反射处理的(右),只反射了2%的光,也就是��它的透过率是98%。

图片


增透膜(Anti-reflective coating,AR)是一种表面光学镀层,通过减少光的反射而增加透过率。在复杂的光学系统中,可以通过减少系统中的散射光来提高对比度,例如望远镜,这对天文学十分重要。增透膜能减少暗处双筒望远镜的闪光。

很多涂层都包括折射率不同的透明的薄膜结构thin film structures with alternating layers of contrasting. 薄膜的厚度决定了其作用的反射光波长。当光线在增透膜上产生二次反射时,会和原反射光发生干涉,从而减弱反射光。而根据能量守恒,光的能量不变。当反射光减少时,透射光便增多。这就是增透膜的原理。选择增透膜时需确定波长,如红外线,可见光以及紫外线。

图片

没有镀膜的眼镜镜片(上方)比镀上增透模的眼镜镜片反射更多光波。特别注意到镀膜的眼镜镜片的反射带有些许颜色。


滤光片

滤光片产品主要按光谱波段、光谱特性、膜层材料、应用特点等方式分类。

光谱波段:紫外滤光片、可见滤光片、红外滤光片;

光谱特性:带通滤光片、截止滤光片、分光滤光片、中性密度滤光片、反射滤光片;

膜层材料:软膜滤光片、硬膜滤光片;

硬膜滤光片不仅指薄膜硬度方面,更重要的是它的激光损伤阈值,所以它广泛应用于激光系统当中,面软膜滤光片则主要用于生化分析仪当中。

带通型:选定波段的光通过,通带以外的光截止。其光学指标主要是中心波长(CWL),半带宽(FWHM)。分为窄带和宽带。比如窄带808滤光片NBF-808。

短波通型(又叫低波通):短于选定波长的光通过,长于该波长的光截止。比如红外截止滤光片,IBG-650。

长波通型(又叫高波通):长于选定波长的光通过,短于该波长的光截止 比如红外透过滤光片,IPG-800。

滤光片镀膜

蒸发沉积

在蒸发沉积时,真空室中的源材料受到加热或电子束轰击而蒸发。蒸气冷凝在光学表面上。在蒸发期间,通过控制加热,真空压力,基板定位和旋转可以制造出具有特定厚度的均匀光学镀膜。蒸发具有相对温和的性质,会使镀膜变得松散或多孔。这种松散的镀膜具有吸水性,改变了膜层的有效折射率,将导致性能降低。通过离子束辅助沉积技术可以增强蒸发镀膜,在该过程中,离子束会对准基片表面。这增加了源材料相对光学表面的粘附性,产生更多应力,使得镀膜更致密,更耐久。

离子束溅射(IBS)

在离子束溅射(IBS)时,高能电场可以加速离子束。这种加速度使得离子具有显着的动能。在与源材料撞击时,离子束会将靶材的原子“溅射”出来。这些被溅射出来的靶材离子(原子受电离区影响变为离子)也具有动能,会在与光学表面接触时产生致密的膜。IBS是一种的,重复性强的技术。

等离子体溅射

等离子体溅射是一系列技术的总称,例如等离子体溅射和磁控管溅射。不管是哪种技术,都包括等离子体的产生。等离子体中的离子经加速射入源材料中,撞击松散的能量源离子,然后溅射到目标光学元件上。虽然不同类型的等离子体溅射具有其独特的性质和优缺点,不过可以将这些技术集合在一起,因为具有共同的工作原理,差异,相比这种镀膜技术与本文中涉及的其它镀膜技术之间的差异小得多。

原子层沉积

与蒸发沉积不同,用于原子层沉积(ALD)的源材料不需要从固体中蒸发出来,而是直接以气体的形式存在。尽管该技术使用的是气体,真空室中仍然需要很高的温度。在ALD过程中,气相前驱体通过非重叠式的脉冲进行传递,且脉冲具有自限制性。这种工艺拥有独特的化学性设计,每个脉冲只粘附一层,并且对光学件表面的几何形状没有特殊要求。因此这种工艺使得可以高度的对镀层厚度和设计进行控制,但是会降低沉积的速率。

镀膜工艺

不同的镀膜沉积技术,具有各自的优缺点。光学可以采用不同的镀膜沉积技术为服务。

在很小的硅衬底上,出现了薄膜颜色的变化,有时很严重(多种颜色),有时两种颜色,有颜色的梯度,什么原因啊?

颜色变化是由于薄膜厚度不均匀导致不同程度的光干涉引起的。这种不均匀是purge不充分造成的,或者是precursor通多了。应该考虑一下硅片清洗的干净不干净。机器没有改动的话程序和剂量都是固定的。每次都是在相同的地方出现厚度的差异,感觉像是有一个通多了啊,tdeah这种源你们都是怎么设置的啊,比如温度,pulse和purge时间。都是根据系统得计算的,没有系统图和参数,明显已经出了可估测的范文。

ALD的一大验收指标就是膜厚均一性(5英寸的Si上)。

首先膜厚大概有多少,再决定用什么仪器去测量膜厚(多点测量)。

ALD做的其它薄膜,也出现了局部的不均匀现象比如只有半环状,或者一部分区域有薄膜的现象。

现代微处理器内的晶体管非常微小,晶体管中的一些关键薄膜层甚至只有几个原子的厚度,光是英文句点的大小就够容纳一百万个晶体管还绰绰有余。ALD 是使这些极细微结构越来越普遍的一种技术。

ALD 工艺直接在芯片表面堆积材料,一次沉积单层薄膜几分之一的厚度,以尽可能生成*薄、*均匀的薄膜。工艺的自限特性以及共形沉积的相关能力,是其成为微缩与 3D 技术推动因素的基础。自限式表面反应让原子级沉积控制成为可能:薄膜厚度仅取决于执行的反应周期数。表面控制会使薄膜保持**的共形性和均匀厚度,这两点是新兴 3D 器件设计的必备特性。

ar玻璃

1)可见光透过率*高峰值99%可见光平均透过率超过95%,

2) 平均反射率低于4%,*低值小于0.5%

3)色彩更艳丽、对比更强使图像色彩对比更强烈,景物更清晰。

4)抗紫外线,有效保护眼睛紫外线光谱区透过率大幅降低,可有效阻绝紫外线对眼睛之伤害

5) 耐高温AR玻璃耐温>500度(一般压克力只能耐温80度)

6)防刮耐磨性*佳AR玻璃膜层硬度与玻璃相当,大于7H,(一般PC板硬度约为2H至3H)。

7)可耐各种清洁剂清洗耐酸、碱清洗剂之擦拭,膜层不受损坏。

8)抗冲击性强3mm厚度玻璃的冲击性能相当于6mm压克力。

9)保持视角一般压克力在安装后,视角会变小;而AR玻璃装上后,视角不会变小。

10)外观AR玻璃表面平整度远远优于镀膜压克力,并且尺寸越大,相差越明显。

11)AR玻璃冷热变形几乎可以省略不计,适用于各类环境;同时,AR玻璃具有琉璃感,外观更漂亮。

比超白透光率还高的ar玻璃

普通的白玻透光率一般在82-83%左右。

超白玻璃透光率一般在89-91%,个别厂家生产的超白玻璃透过率甚至可以达到92%。

AR玻璃的透不率达到了95%,甚至有的AR玻璃可见光透过率*高峰值达到了99%。




关于我们

上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件的高科技企业,公司2005年成立在上海闵行零号湾创业园区,专业的光电镀膜公司,技术背景依托中国科学院,卷柔产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工;光学透镜、反射镜、棱镜,平板显示,安防监控等光学镀膜产品的开发和生产,为全球客户提供上等的产品和服务。

    采用德国薄膜制备工艺,形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系,能够制备各种超高性能光学薄膜,包括红外薄膜、增透膜,ARcoating,激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜,应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、光学科研,红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆,低反射橱窗玻璃,画框,工业灯具照明,广告机,点餐机,电子白板,安防监控等。
    卷柔新技术拥有自主知识产权的全自动生产线【sol-gel溶胶凝胶法镀膜线】,这条生产线能够生产全球先进的减反射玻璃。镀膜版面可达到2440*3660mm,玻璃厚度从0.3mm到12mm都可以,另外针对PC,PMMA方面的增透膜也具有量产生产能力。ARcoating减反膜基本接近无色,色彩还原性好,并且可以避免了磁控溅射的缺点,镀完增透膜后玻璃可以做热弯处理和钢化处理以及DIP打印处理。这个难度和具有很好的应用性,新意突出,实用性突出,湿法镀膜在价格方面也均优于真空磁控的干法。


  卷柔减反射(AR)玻璃的特点:高透,膜层无色,膜硬度高,抗老化性强(耐候性强于玻璃),玻璃长期使用存放不发霉,且有一定的自洁效果.AR增透减反膜玻璃产品广泛应用于**文博展示、低反射幕墙、广告机玻璃、节能灯具盖板玻璃、液晶显示器保护玻璃等多行业。
    我们的愿景:卷柔让光学更具价值!
    我们的使命:有光的地方就有卷柔新技术!
    我们的目标:以高质量的产品,优惠的价格,贴心的服务,为客户提供优良的解决方案。
    上海卷柔科技以现代镀膜技术为核心驱动力,通过镀膜设备、镀膜加工、光学镀膜产品服务于客户,努力为客户创造新的利润空间和竞争优势,为中国的民族制造业的发展贡献力量。


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