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真空镀膜产品出现膜脏该怎么办?

真空镀膜产品出现膜脏该怎么办?


镀膜产品的常见问题,部分是镀膜工序的本身造成的,部分是前工程**的问题,镀膜终的品质是整个光学零件加工的(特别是抛光、清洗)的综合反映,对于出现镀膜不佳时必须综合考虑,才能真正找到不佳产生的原因,对策改善才能取得成效。


膜脏(也称白压克)

顾名思义,膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏可以包括:灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。(灰尘点和白雾单列)

01

灰点脏

现象:镜片膜层表面或内部有一些点子(不是膜料点)有些可以擦除,有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。

产生原因:

1、真空室脏,在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上,形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

2、镜圈或碟片脏,有浮点灰尘,在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

3、镜片上伞时就有灰尘点,上伞时没有检查挑选。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因,特别是当镜片热的时候,更容易吸附灰尘,而且难以擦除。(膜外)

5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏,充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不佳的原因。(膜外)

6、 作业员人为带来的灰尘污染(膜内膜外)

7、 工作环境中灰尘���多

改善思路:杜绝灰尘源

改善对策:

1、工作环境改造洁净车间,严格按洁净车间规范实施。

2、尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。

3、 真空室周期打扫,保持清洁。

02

膜外白雾

现象:镀膜完成后,表面有一些淡淡的白雾,用丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(又称:可擦拭压克)

分析:膜外白雾的成因较为复杂,可能的成因有:

①、膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙;

②、蒸发角过大,膜结构粗糙。

③、温差:镜片出罩时内外温差过大

④、潮气;镜片出罩后摆放环境的潮气

⑤、真空室内Polycold解冻时水汽过重

⑥、蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀

⑦、膜与膜之间的应力

改善思路:膜外白雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善环境减少吸附的对象。

改善对策:

1、改善膜系,外层加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善镜片出罩时的环境(干燥、清洁)

2、降低出罩时的镜片温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应力。

3、改善充氧(加大),改善膜结构。

4、适当降低蒸发速率,改善柱状结构

5、离子辅助镀膜,改善膜结构

6、加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水汽)

7、从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。

8、改善基片表面粗糙度。

9、注意polycold解冻时的真空度。

03

膜内白雾

白雾形成在膜内,无法用擦拭方法祛除。

可能的成因:

①、基片脏,附着前工程的残留物

②、镜片表面腐蚀污染

③、膜料与膜料之间、膜料与基片之间的不匹配。

④、氧化物充氧不够。

⑤、一层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象

⑥、基片进罩前(洗净后)受潮气污染

⑦、洗净或擦拭不佳,洗净痕迹、擦拭痕迹

⑧、真空室脏、水气过重

⑨、环境湿度大

改善思路:基片本身的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本身的可能是膜料匹配问题。

改善对策:

1、改进膜系,层不用氧化锆。

2、尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在短时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。

3、真空室在更换护板、清洁后,能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。

4、改善环境

5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染。

6、改善洗净、擦拭效果。

7、改善膜匹配(考虑层用Al2O3)

8、改善膜充氧和蒸发速率(降低)

9、加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。

10、抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件 的高科技企业,公司成立2005年,专业的光电镀膜公司,公司产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工;光学透镜、反射镜、棱镜等光学镀膜产品的开发和生产,为全球客户提供上等的产品和服务。采用德国薄膜制备工艺,形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系,能够制备各种超高性能光学薄膜,包括红外薄膜、增透膜,ARcoating, 激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜,应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆,低反射橱窗玻璃,画框等。


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