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美国联邦标准FS209的空气洁净度级别
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| 级别名称 |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
5um |
| 容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
| 国际单位 |
英制单位 |
(m3)(ft3) |
(m3)(ft3) |
(m3)(ft3) |
(m3) (ft3) |
(m3) (ft3) |
| M1.5 |
1 |
1240 35.3 |
265 7.50 |
106 3.00 |
35.3 1.00 |
....... |
| M2.5 |
10 |
1240 350 |
26500 750 |
1060 30.0 |
353 10.0 |
....... |
| M3.5 |
100 |
... ... |
26500 750 |
10600 300 |
3530 100 |
....... |
| M4.5 |
1000 |
... ... |
... ... |
... ... |
35300 100 |
247.7 7.00 |
| M5.5 |
10000 |
... ... |
... ... |
... ... |
353000 1000 |
2470 70.0 |
| M6.5 |
100000 |
... ... |
... ... |
... ... |
3530000 100000 |
247000 700 |
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