广东省肇庆市万立电子设备厂http://www.wanli-dz.com/ 在半导体工艺中许多器件的重要参数和性能都与薄层电阻有关，为提高厚、薄膜集成电路和片式电阻的生产精度，需要使用设备仪器如探针台、激光调阻机对其进行测试或修调。一般所用的测量仪器或设备都包含连接、激励、测量和显示单元，有时还有后期数据处理单元。采用不同的测量方法和不同的连接方式引入的测量误差不同，得到的测量精度也不同。通常开关矩阵中继电器触点闭合电阻为1Ω左右，FET开关打开时的电阻为十几欧，引线电阻为几百毫欧。如何根据需要减少测量误差是测试技术的关键之一。
在电阻测试中我们常采用恒流测压方法、惠斯通电桥（单臂电桥）和双臂电桥方法。1、 恒流测压方法 r是引线电阻与接触电阻之和；I是程控恒流电流源； V是具有极高输入阻抗的电压表，它对恒流电流源不产生分流作用。施加已知的恒定电流I，流过被测电阻R t，然后测量出电阻两端的电压V，当R t＞＞ r时，根据公式Rt＝V/ I就可算出电阻值。
2、惠斯通电桥方法 V1，V 2是程控恒电压源；Rstd是标准电阻； Rt是被测电阻；I是电流表。当电桥平衡即流过电流表I的电流为零时，有V1 /V2=Rstd/R t，由此可计算出Rt＝R std×V2/V1 。
3、 双臂电桥方法 单臂电桥测量范围为10～106 Ω，单电桥测几欧姆的低电阻时，引线电阻和接触电阻已经不可忽略。而双臂电桥适用于10-6～102 Ω电阻的测量，它是改进的单臂电桥，如图3。将电桥中的中低电阻 Rt和R改成四端接法，并在桥路中增加两个高阻电阻R3和R4，则大大降低了引线电阻和接触电阻的影响。压敏电阻测试机，测试机，编带机，电子生产设备，磁环测试机 ，电容测试分选机