购买全自动立式扩散炉**青岛福润德 Frd-190

本设备主要用于LED、光器件、光纤光缆、集成电路、电力电子器件等行业，对3英寸硅片进行扩散、氧化、退火、合金、镀膜等工艺。

1、外型形式：立式两管结构

   2、硅片尺寸：3英寸.

   3、自动化程度：工艺过程自动化。

   4、送取片方式：手动。

  5、搅动方式： 自动，

  6、立式（垂直）上下操作方式

   7、恒温区长度：250mm

   8、炉体内径：Φ125mm

   9、温度控制：欧姆龙原装进口控温仪

   10、恒温区精度：工作温度范围内，±1℃/250mm

   11、单点温度稳定性、重复性：工作温度范围内，±1℃/24h

   12、工作温度范围：140ºC-250 ºC

   13、控制系统：每管对应一个触摸屏，一台工控机集中管理两个炉管

 15、 恒温区温度技术条件（闭管静态测试）：

1、工作温度范围:       140～400 ℃。

2、长期工作温度:       250℃

3、恒温区长度及精度:   200～400 ℃：  250mm/±1℃                                       

4、单点温度稳定性:     200～400 ℃：  250mm/±1℃/24h                                

5、单点温度重复性:      ≤1℃

         6 、具有恒温区温度可编程自动实时修正（自动拉温区）。

    16、升降温的控制曲线斜率:

    1、升温方式：         随炉升温。

2、升温速率范围：     0～400℃：   0.1～10℃/min 可控可设定编程。

            *大升温速率：     10℃/min。

3、降温速率范围：     400～200℃： 0.1～2℃/min  可控可设定编程。

            *小降温速率；     0.1℃/min。

         4、管间影响：             ≤0.5℃。