江苏苏州 大冢嵌入式膜厚检测仪 FE-3
产品简介
•采用分光干涉法 •搭载高精度FFT膜厚解析系统(砖利 第4834847号) •使用光学光纤,可灵活构筑测量系统 •可嵌入至各种制造设备。 •实时测量膜厚 •可对应远程操作、多点测量 •采用寿命长、**性高的白色LED光源
产品详细信息
测量项目
·多层膜厚解析
用 途
•光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)
•FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)
设备构成
单点型
•半导体晶圆的面内分布测量
•玻璃基板的面内分布测量
多点型
•实时测量
•流向品质管理
•真空室适用
导线型
•实时测量
•宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
公安机关备案号:


