椭圆偏光膜厚量测仪（手动） 产品特点 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。 自动变更反射量测角度，可得到更详
产品简介
400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。 自动变更反射量测角度，可得到更详细的薄膜解析数据。 采用正弦杆自动驱动方式，展现量测角度变更时优异的移动精度。 搭载薄膜分析所需的全角度同时量测功能。 可量测晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品详细信息
产品特点
- 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。
- 自动变更反射量测角度，可得到更详细的薄膜解析数据。
- 采用正弦杆自动驱动方式，展现量测角度变更时优异的移动精度。
- 搭载薄膜分析所需的全角度同时量测功能。
- 可量测晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
量测项目
- 膜厚测量
产品规格
| 样品对应尺寸 | 100 × 100 mm |
|---|---|
| 量测方式 | 偏光片元件回转方式 |
| 入射/反射角度范围 | 45 ~ 90° |
| 入射/反射角度驱动方式 | 反射角度可自动变更 |
| 波长量测范围 | 300 ~ 800 nm |
| 分光元件 | Poly-chrometer |
| 尺寸 | 650(H)× 400(D)× 560(W)mm |
| 重量 | 约50 kg |
其他产品
关于我们|
易展动态 |
易展荣誉 |
易展服务 |
易家文化 |
英才集结号 |
社会责任 |
联系我们
备案号：粤ICP备11010883号|
公安机关备案号：44040202000676|
版权问题及信息删除： 0756-2183556
QQ：
Copyright?2004-2017 珠海市金信桥网络科技有限公司 版权所有
