平面显示器(FPD)大尺寸样品专 cp-002
产品简介
高精度量测各种玻璃基板上的多层膜及光学常数。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有机EL)等制程所需的膜层解析皆有完整的解决方案
产品详细信息
产品特点
- 从规划设计、开发制造、到现场安装调整及教学支援等，皆秉持一贯的品质自行完成。
- 面对市场多元化的需求，以优异的技术、丰富的实绩、安心的售后服务，提供*完善的膜厚解析方案。
量测项目
- 膜厚测量
- Array测量
显示器面板膜厚分析设备FE series
解析面板显示器制程中持续进化的各种薄膜
高精度量测各种玻璃基板上的多层膜及光学常数。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有机EL)等制程所需的膜层解析皆有完整的解决方案。
用途
| LCD | ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass |
|---|---|
| TFT | SiN/a-Si/Glass |
| OLED | OLED/ITO/Glass |
| PDP | 诱电体层/Glass |
半导体膜厚分析设备FE series
对应φ300mm晶圆的全自动搬送系统
可搭配各种Load/Unload搬送规格，从R&D到生产线皆可灵活运用的膜厚解析系统。1枚样品中，量测5个点位仅需30秒以下的高速膜厚评价。
用途
| Si半导体晶圆膜 | SiO2/Si、Resist/Si、SiO2/a-Si、SiO2/SiN/SiO2 |
|---|---|
| 半导体膜 | TEOS、SiNX、SiOx等 |
| 化合物半导体 | GaAs、GaN、InGaAs等 |
| 其它 | 光学材料、诱导体材料、金属膜等 |
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