超声波清洗机 W-357-1MQG-SKC

HONDA本多_石英振动体型清洗机_W-357-1MQB-SKC

长处
清洁具有小型化图案的晶圆，损坏低

■超声波叠加在石英振动体上，清洁半导体晶片。
通过将化学溶液浸入半导体晶片中并通过石英玻璃传播超声波振动，接触部分的化学溶液振动，加速度去除表面的污垢。
■实现清洁清洁，对半导体晶圆的损坏很小。
通过使用石英与化学品接触，与使用橡胶材料（如填料）的设备相比，无需橡胶洗脱或磨损即可实现清洁清洁。
■由于具有谐振器冷却功能，*大输出功率比标准产品提高了2.4倍。
通过用气体（氮气等）冷却传感器，可以实现稳定的连续运行，而不会出现频率波动。
此外，冷却可确保较长的使用寿命，而不会突然的温度变化。

用
抗残留物去除
磨边、灰化后的聚合物去除
栅极清洁
CMP 后的清洁

发生器

●输出可变范围：0W~12W（振动体允许输入：使用空气吹扫振荡器冷却时连续10W）
● 环境：温度：15~35°C，湿度：10~85%
●外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧）触点输入：DC12V 16mA以上
报警输出（仪表）触点容量：DC24V 0.5A
■附带电缆：电源线（100V2m/200V3m），控制线（5m）x 4

喷头

●工作液体温度范围：20~50°C
- 谐振器：PZT
- 材料： 振动体： 石英玻璃， 包装： 硅橡胶， 表壳： PCTFE
--线长：输出码1.5米+继电器码3.5米
- 空气吹扫接头：兼容管（外径φ6）