日本电测X线荧光膜厚仪EX-731 EX-731

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产品型号:EX-731
 牌:日本电测
公司名称:深圳市鑫洋科技有限公司(微光电子东莞分公司)
  地:广东东莞
发布时间:2013-10-15
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产品简介

日本电测荧光X线膜厚仪EX-731 1.采用中文视窗操作系统,操作简单方便。2.厚度测量极限,分辨率0.001um 3.可测试项目:单层膜厚,双层膜厚,三层膜厚,化学镍膜厚,铅合金膜厚及组合压铸锌镀铜,二层同时测定、元素光谱分析.

产品详细信息

EX-731 (手動型)規格表

壹. 螢光X線控制部:

1.   X線源:油浸式小型微小焦點X線管. 50KV管電壓,可變管電壓。

2.   照射方式:由上而下垂直照射方式。

3.   檢出器:比例計數管。

4.   濾波器:採用 Co Ni 雙濾波器及數位式濾波器,可單一或同時使用。

5.   準直儀:Collimator 採用五種孔徑一體成型式,可自動切換使用。

               0.1,  0.2,  0.5,  1.0,  2.0 ψ㎜.

        (選購) 0.05 ×0.5,  0.05,  0.1,  0.2,  0.5 ψ㎜.

        (選購) 0.05,  0.1,  0.2,  0.3,  0.5 ψ㎜.

6.   樣品觀測系統:彩色CCD及高畫質顯示幕。

7.  多能譜分析器:使用256高頻分析器,光譜自動分析,在執行測量及運算時,非常快速。

貳. 電腦操作部:

8.   電腦系統:(※僅供參考)

u          lenovo相容中文個人電腦. 

u          CPUIntel Celeron 双核2.7GHz.

u          RAM2GB.

u          40倍速 DVD-ROM ×1.

u          Hard Disk500GB.

u          17" 高畫質LCD顯示幕.

9.   印表機:日本EPSON彩色噴墨式印表機。

10.  本機型(EX-3000系列)之操作系統採中文視窗(Windows XP)對話式操作,非常簡便。

 

參. 特性說明:

11.            測量項目:

w       單層膜厚測定.   

w       2層膜厚測定. 

w       3層膜厚測定.   

w       合金膜厚成份比同時測定. 

w       化學鎳膜厚測定. 

w       壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時測定.

w       元素的光譜峰值測定分析.

12.            測量材質:原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。    原子序22以下為吸收法測量。

13.            測量範圍:原子序22 ~ 24 , 約 0.2 ~ 20 um.         原子序25 ~ 40 , 約 0.1 ~ 30 um.   原子序41 ~ 51 , 約 0.2 ~ 70 um.   原子序52 ~ 82 , 約 0.05~ 10 um.

14.            測量機能:

w       同一點重複測定機能

w       輸出形式設定.

w       能譜測定.

15.            測量條件或膜厚規格可以保存.

當要測量相同圖樣軌跡的製品時,若測量條件已儲存時,可以馬上進行測量。

*大檢量線檔案數:可登錄儲存100組檔案。

*大測量檔案數  :可登錄儲存300組檔案。

16.            檔案記錄:

w       每一個批號可儲存無限個測量資料.(因各型電腦之容量大小而定)

w       每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.

w       每個批號可單獨執行統計處理.

w       每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).

w       每個測量檔案可輸入統計處理方式.

17.             資料處理:

w        統計值表示:平均值、標準偏差、*大值、*小值、上下限值範圍、CpCpk

w             X-R 管制圖.

w             柱狀圖:有自動設定及自己任意設定二種方式。

w             測量資料輪廓剖面分佈圖。

w             測量資料三次元輪廓剖面分佈圖。

w             可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。

18.             底材補正:當樣品與標準片的底材不同時,可作底材補正。

19.            觀物顯示幕:十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕。

.**裝置.

20.             本機俱有自動**斷電系統功能.

21.             由鎖匙開關來控制X 線輸出,以防止外人任意操作.

.其他機能.

22.             密碼辨識功能.

23.             裝置維護調整.

.設備尺寸:

24.             測定部:外觀尺寸:600(W) ×465(D) ×732(H) .

    量: 約 70 Kg.        

25.   操作部:(※僅供參考) 

w             電腦主機尺寸:180(W) ×420(D) ×360(H) .  

                          重量:約 8.8 Kg.

w             顯示幕尺寸:360(W) ×420(D) ×370(H) .

                          重量:約16.5 Kg.

 

w             印表機尺寸:500(W) ×250(D) ×300(H) .

重量:約 4.3 Kg.

26.             測量樣品限制.

       樣品限制高度:  50

    樣品限制重量:  3 kg.

. X-Y-Z軸可移動式測量台.

27.             測量台尺寸及移動量.

測量台尺寸          170 × 110 mm 

移動量 (X-Y-Z)    70 ×70 ×50 .

. 使用電源.

28.             電壓: AC100V ±10V 50/60Hz

(選購) AC110V AC220V.

29.             測定主機容量: 700VA.

30.             操作主機容量: 300VA.

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