台湾准力精密磨床
产品简介
晶陶加工机的开发构想是利用立式磨床加工原理,将钻石砂轮固定于气浮式主轴,针对表面精度及平面度要求极高的硬脆材料,进行立式磨削加工。半导体制程中*明显的例子就是晶圆背磨制程,它决定著晶片级封装和系统级封装中的*小可能封装尺寸。 一般晶圆背磨制程所要求的高平坦度与表面粗糙度,唯有气浮式主轴搭配钻石砂轮加工吸附于气浮式工作台上的晶圆才能达成。. 一.应用范围:晶陶加工机可应用于晶圆、陶瓷、石英、玻璃
产品详细信息
晶陶加工机的开发构想是利用立式磨床加工原理,将钻石砂轮固定于气浮式主轴,针对表面精度及平面度要求极高的硬脆材料,进行立式磨削加工。半导体制程中*明显的例子就是晶圆背磨制程,它决定著晶片级封装和系统级封