多功能镀膜设备 全系列
产品简介
多功能镀膜设备是穗诚真空设备有限公司自行研制的真空镀膜设备系列产品之一。本设备集中了直流平面磁控溅射、直流圆柱磁控溅射、中频磁控溅射、多弧离子镀等多项镀膜技术。可分别对工件进行单层薄膜制备,也可依次对工件进行多层薄膜制备。本设备主要用于纯金属膜、合金膜、半导体膜、绝缘膜、陶瓷膜、各种装饰膜等薄膜的制备。所有靶的靶基距都可做成可调,适用于批量生产和科研开发。
产品详细信息
多功能镀膜设备是穗诚真空设备有限公司自行研制的真空镀膜设备系列产品之一。本设备集中了直流平面磁控溅射、直流圆柱磁控溅射、中频磁控溅射、多弧离子镀等多项镀膜技术。可分别对工件进行单层薄膜制备,也可依次对