SemionTM离子能量/离子流量分析仪（减速场能量分析仪） SemionTM

SemionTM离子能量/离子流量分析仪（减速场能量分析仪）

SemionTM 减速场能量分析仪，用于测量在等离子体腔体中偏压表面的离子能量和离子流量。SemionTM 系统包括减速场能量分析（RFEA）多栅探测器、腔体整体连接装置和电子控制单元，可安装于多种等离子源结构，如电容耦合、电感耦合、磁电管、级联电弧和远程源等。该产品的一大特色就是能够在射频偏压表面上放置RFEA探测器（类似于硅片），可随着电极移动，用以测量该表面的离子流量和离子能量。

特点：

Ø         RFEA探测器可安装于基片上；

Ø         原位测量 ：离子能量分布；离子流量；离子电流；电子流量和能量；

Ø         压力高达300mT的条件下可测得的能量达500eV；

Ø         脉冲体系中，时间分辨测量能力可达500kHz，时间间隔为44nS；

Ø         等离子体悬浮电位测量调节功能；

Ø         便携配置允许一个系统分析多个腔体；