射频RF CO2激光器分类

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RFCO2激光器工作频率按ISM规定为27~40MHz;其主要分类如下所述:

    (1)按输出方式分

    1)连续输出;
    2)脉冲输出——调制频率高达1MHz;
    3)Q开关输出——电光调Q与声光调Q。

    (2)按谐振腔的工作分

    1)波导腔——孔径D=1~3mm;
    2)自由空间腔——孔径D=4~6mm。

    (3)按激励极性分

    1)单相;
    2)反相。

    (4)按腔体结构分

    1)单腔;

    2)多腔;

    (a)折叠腔:V型——2折;Z型——3折;X型——4折。
    (b)列阵腔:短肩列阵;交错列阵。
    (c)积木式:并联—2腔;三角组联—3腔。

    3)大面积放电

    (a)平板型,(b)同心环型。

    (5)按均恒电感分布方式分

    1)准电感谐振技术—用于低电容激光头;
    2)平行分布电感谐振技术—用于高电容激光头。

    (6)按谐振腔材料分

    1)陶瓷—金属混合型;2)全陶瓷型;3)全金属型。

    (7)按冷却方式分

    1)空气冷却;2)水冷却。

    (8)按封装方式分

    1)封离型;2)流动型。

    谐振腔的材料一般为:金属—A1。陶瓷—BeO,BN、AIN、Al2O3等。