RFCO2激光器工作频率按ISM规定为27～40MHz；其主要分类如下所述：
（1）按输出方式分
1）连续输出；
2）脉冲输出——调制频率高达1MHz；
3）Q开关输出——电光调Q与声光调Q。
（2）按谐振腔的工作分
1）波导腔——孔径D=1～3mm；
2）自由空间腔——孔径D=4～6mm。
（3）按激励极性分
1）单相；
2）反相。
（4）按腔体结构分
1）单腔；
2）多腔；
（a）折叠腔：V型——2折；Z型——3折；X型——4折。
（b）列阵腔：短肩列阵；交错列阵。
（c）积木式：并联—2腔；三角组联—3腔。
3）大面积放电
（a）平板型，（b）同心环型。
（5）按均恒电感分布方式分
1）准电感谐振技术—用于低电容激光头；
2）平行分布电感谐振技术—用于高电容激光头。
（6）按谐振腔材料分
1）陶瓷—金属混合型；2）全陶瓷型；3）全金属型。
（7）按冷却方式分
1）空气冷却；2）水冷却。
（8）按封装方式分
1）封离型；2）流动型。
谐振腔的材料一般为：金属—A1。陶瓷—BeO，BN、AIN、Al2O3等。
（1）按输出方式分
1）连续输出；
2）脉冲输出——调制频率高达1MHz；
3）Q开关输出——电光调Q与声光调Q。
（2）按谐振腔的工作分
1）波导腔——孔径D=1～3mm；
2）自由空间腔——孔径D=4～6mm。
（3）按激励极性分
1）单相；
2）反相。
（4）按腔体结构分
1）单腔；
2）多腔；
（a）折叠腔：V型——2折；Z型——3折；X型——4折。
（b）列阵腔：短肩列阵；交错列阵。
（c）积木式：并联—2腔；三角组联—3腔。
3）大面积放电
（a）平板型，（b）同心环型。
（5）按均恒电感分布方式分
1）准电感谐振技术—用于低电容激光头；
2）平行分布电感谐振技术—用于高电容激光头。
（6）按谐振腔材料分
1）陶瓷—金属混合型；2）全陶瓷型；3）全金属型。
（7）按冷却方式分
1）空气冷却；2）水冷却。
（8）按封装方式分
1）封离型；2）流动型。
谐振腔的材料一般为：金属—A1。陶瓷—BeO，BN、AIN、Al2O3等。
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